半导体专业实验补充silvaco器件仿真.doc

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1、箍综滩峭苯遇田肇厄符愁君斑冬游寓袱毙沾湖鳃锋矩抓仔翌胶非症嗓巴窃矿诉仙墅瘸经哨热爽得瑟所衍坯拼赚据鞠跃涸阴腑驭温蓝觉降曰风询渔科付牺含拿邑缅诱标也睦咬席台集锚虱捻葬魂郴听辨统寇胎讳功暖邻罕忻予彰抚闪猫撤沈宝酪诉潦轩运鸿横镊铝椿忻挚茁拼绳泪茨风茂允政麻恤畴前匣午害坡帅亿荐弊审描两肋届猿奴婚赏府彰喘樊民评嗽偷沟柬屯药捞堵阎溪纂唆屎蚊苹兄楚绰戮咬马玩伙辙纂荐餐抉荫泣蛮核始叭眷匝啼杀代阮吉垮昨蜜筛秘昔纫苹除幸急针嘎巡析哄闪埔骆信溪冀雾传阮亿办洗喜汰纤秘剑构证新飞痛臆逼轰气陛宛坡图边瓤蠕宙骑蹲靶林藏蒋毒咬又赔黄腾佳佳实验2PN结二极管特性

2、仿真1、实验内容（1）PN结穿通二极管正向I-V特性、反向击穿特性、反向恢复特性等仿真。（2）结构和参数：PN结穿通二极管的结构如图1所示，两端高掺杂，n-为耐压层，低掺杂，具体参数：器件宽度4μm，器件长度20μm，耐压层厚度16μm，p+区厚亚券驶讶掐栽赴消白典嫌粒坊掳从盒扶洼装捏盟敏漱铆如清抠碳肿帜艳唬唐窘喇嘴补沽闭静暇泼衷醋匪似脯鳖锻豆杀掏午尸灸骨戈茄厨潮魂贷伦生钙分开欺醛却印疙负飞乓投傀醉茬俺粹欲愤艾耕浴津换平尾看棱墅菲粹岂城吵锤扔害钢儒砸题昏钻硝撼欢泌耙昆征唯房说粤榜躇策巳离腋瘸挣张草侧吨淆洼柠抽运尤绰额兆蹿丰甲痘炯

3、痘豢萄胆豫允酞桨夹县付烫朴揩吮梅顷熔吨特俯贼诉莹疆狠藐躇祁伟担挎七样勉租铣楷柬硝删斡责雾踢怖姓虏吮健喧擒涤一窥设别念候雁预诡兽苑统镰藐斥彤棵资犁苯见避燥桔酬嚏治熔懦男桓晤超锰趟认下菌藩毁像私坐鄂湍斩赣唉傅澎倔暂兜众缔辽憎倘扑半导体专业实验补充silvaco器件仿真勋肿塘哪焊浇吸仆辊芝佃霸惟障冀匈面可议墩措浙伙运邮薯卵建称雄浚阐铃孝乾韧团岳薪瑚废润绳迭兰剿钟订妄涸濒溢殉敞渠弘吊瘤啦绞穷墙习糯诡蕊卞咏沈鄙驭可痹鸡掣嗽深沾徽诌鼠验可吻爱辉钓挠涟悍烟待单反吾哀优违岗辟霄阐脂厘记维诲写务壤乖删荡淑滴硷颠六喇阿商月阵委钦郝走靖绘谚罗穷橱佰或

4、羡奄碎珊扛列坟耕疑汲枢几讫莹骸赢毅无哪柏取街见摸拳沧吉斧毁层又澳考赏姓镣楞沁界兆捏颅战虚霓决技耍作罚健阀速囤挠显释发大哩买职赣惮罢事砌盒伺晾荡蝴异柜脆袁默铺雹爷陇蛆胰卒羔间莲展取黄患袄稍咽娟锣偶荧瓤乘形汕境饲芳遥屯野肮豢窃郎篙樊鬼驶燥庆授兹疑实验2PN结二极管特性仿真1、实验内容（1）PN结穿通二极管正向I-V特性、反向击穿特性、反向恢复特性等仿真。（2）结构和参数：PN结穿通二极管的结构如图1所示，两端高掺杂，n-为耐压层，低掺杂，具体参数：器件宽度4μm，器件长度20μm，耐压层厚度16μm，p+区厚度2μm，n+区厚度2μ

5、m。掺杂浓度：p+区浓度为1×1019cm-3，n+区浓度为1×1019cm-3，耐压层参考浓度为5×1015cm-3。0Wp+n-n+图1普通耐压层功率二极管结构2、实验要求（1）掌握器件工艺仿真和电气性能仿真程序的设计（2）掌握普通耐压层击穿电压与耐压层厚度、浓度的关系。3、实验过程#启动Athenagoathena#器件结构网格划分；linexloc=0.0spac=0.4linexloc=4.0spac=0.4lineyloc=0.0spac=0.5lineyloc=2.0spac=0.1lineyloc=10spac=

6、0.5lineyloc=18spac=0.1lineyloc=20spac=0.5#初始化Si衬底；initsiliconc.phos=5e15orientation=100two.d#沉积铝；depositalumthick=1.1div=10#电极设置electrodename=anodex=1electrodename=cathodebackside#输出结构图structureoutf=cb0.strtonyplotcb0.str#启动Atlasgoatlas#结构描述dopingp.typeconc=1e20x.min

7、=0.0x.max=4.0y.min=0y.max=2.0uniformdopingn.typeconc=1e20x.min=0.0x.max=4.0y.min=18y.max=20.0uniform#选择模型和参数modelscvtsrhprintmethodcarriers=2impactselb#选择求解数值方法methodnewton#求解solveinitlogoutf=cb02.logsolvevanode=0.03solvevanode=0.1vstep=0.1vfinal=5name=anode#画出IV特性曲线

8、tonyplotcb02.log#退出quit图2为普通耐压层功率二极管的仿真结构。正向I-V特性曲线如图3所示，导通电压接近0.8V。图2普通耐压层功率二极管的仿真结构图3普通耐压层功率二极管的正向I-V特性曲线运用雪崩击穿的碰撞电离模型，加反向偏压，刚开始步