PVD设备及工艺简介.ppt

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1、PVD设备及工艺简介目录PVD设备简介泵靶真空测量真空检漏PVD工艺简介PVD相关概念定义磁控溅射铂阳生产线相关工艺简介合金靶的溅射金属氧化物的溅射PVD设备简介铂阳生产线PVD真空设备布局图抽空系统抽空系统一、2X泵1.概述:1.1用途:2X型旋片式真空泵(以下简称真空泵)是用已抽除特定密封容器内的气体,使该容器获得一定真空度的基本设备.可供电器、电真空、半导体、食品、原子能、编织等科研机关、大专院校、工矿企业和生产与教学之用,真空泵可直接获得1.3×10Pa以下的真空度,也可作为其它真空设备的前级使用.1.2特点及其不适用范围:真空泵是用黑色金属制

2、造,属较精精密的设备,真空泵的主要工作部件浸在特制的真空泵油中工作,因此不适用于抽含氧过高的、有毒的、有爆炸性的、对真空泵油起化学作用或对黑色金属有腐蚀作用的气体,如必须使泵抽出前述情况的气体,应在进气管道上加装中和、冷却、过滤等有关装置配合使用,否则将影响真空泵使用性能和寿命,也不能作为压缩机和输送泵使用.常用泵为2X-30、2X-70泵两种.抽空系统抽空系统2.技术要求:2.1品种规格及性能:（见右表）.热偶计测量的是各种蒸汽和永久气体的总压力,而麦化计只能测出永久气体占的分压力..几何抽速是根据几何尺寸算出的抽速在大气压力时,实际抽速与几何抽

3、速基本相符合,在各种不同的压力时,抽速有一定下降..温升是指泵温稳定后,在排气阀门处的油的温度与室温之差.抽空系统2.2型号的组成及代表意义:X-30表示每秒的抽气速率表示旋片式真空泵表示双级泵2.3使用环境条件:环境温度5~40℃.相对温度不大于90%。抽空系统3.结构与工作原理.3.1结构:2X系列的各种真空泵外形和结构基本相同.泵由电机经三角皮带传动转子电机和泵用螺钉卡板固定在底盘上.泵由泵体、高转子、低转子、前端板、后端板、高转片、低转片、排气阀、排气罩、视镜……等零部件组成.在泵体内压入一个中隔板,将泵体分成高低真空室,各室都有排气门.高真

4、空室排气与低真空室进气相通.高转子前端伸出前轴,后端伸出后轴.前轴通过前端板的轴承支持,经过油密封室而伸出前端板外;后轴由中隔板上的轴承支持;而伸入低真空室内,低真空室转子则装在后轴上,故高低转子均由前轴带动,高低转子都有对开的槽子,呈“T”型的转片由弹簧支撑开而装于槽内.泵的进气口处有过滤网,而排气口处有挡油网,大泵还有挡油板,视镜左边有掺气阀,下边有放油塞。抽空系统1.皮带轮2.键3.前端板4.高转子5.高转片6.进气嘴7.密封圈8.排气罩9.过滤网10.泵体11.低转子12.弹簧13.低转片14.后端板15.密封圈16.手柄17.放油塞18.纸垫

5、19.阀座20.阀片21.挡板22.视镜23.镜框24定位销钉抽空系统1.进气嘴2.密封圈3.过滤网4.皮带轮5.前端板6.高转片7.高转子8.轴承9.前轴10.油密封室11.弹簧12.定位销13.排气罩14.排气垫15.挡油网16.泵体17.中隔板18.后端板19.低转子20.水接头21.键22.低转片23.水盖板24.排气阀25.视镜27.掺气阀27.放油塞表示真空气格.表示低真空气路.抽空系统3.2工作原理:图3是2X系列真空泵原理图,转子3及7与高真空室1及低真空室6相切,转子3与7沿箭头方向旋转,带动转子槽内滑动的转片8旋转,由于弹簧9及离心

6、力的作用,转片外端紧贴高低真空室的内表面滑动,把转子与高低真空室所形成的洼形空间从进气嘴2到排气阀门5和从过气管4到排气阀门10之间分隔开来,形成二或三个容积,并且周期性地大小变化,当在图标位置继续旋转时,A及C容积逐渐增大,被抽容积气体沿气嘴进入泵内,同时B及D容积逐渐减小,压力升高,随后冲开排气阀门5及10,将气体排出真空室外,气体经过油面而排于大气之中,因为油是淹住排气门的,故能防止气体返回真空室,当抽气压力较高时,高低真空室的阀门都排气,相当于单级泵;当真空度较高时,全部气体进入低真空室,再由排气阀门10排出,此时二级串联即进入双级泵工作。如被

7、抽除的气体中含有较高的蒸汽气体时,在气体受到压缩而其蒸汽的分压强超过此蒸汽在泵内温度下的饱和压力时,此时蒸汽被压缩成为液体,真空泵无法排出而混在真空油内,使泵的性能大大降低,如果掺入适量的空气,使蒸汽在受到压缩时其分压力也低于泵温时的饱和压力,则蒸汽在变成液体前就能被排出泵外去,故本系列2X-1以上的泵都装有能放入一定量气体的掺气阀11(见下图)。抽空系统图三2X系列真空泵原理图抽空系统二.ZJP-300罗茨泵1.概述:1.1应用:罗茨真空泵也称机械增压泵,它是快速抽除密封容器中气体的一种较为理想的真空获得设备.它不能直接从大气压下抽气,须与各类前级泵

8、(如旋片泵、液环泵、滑阀泵等)配套组成真空系统.广泛应用于冶金、化工、电子、轻纺等领域。抽空系