海德汉编码器综合样本.pdf

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1、综合样本直线光栅尺长度计角度编码器旋转编码器轮廓加工数控系统3D测头数显装置2008年10月约翰内斯·海德汉博士公司研制生产直线光在这份综合样本中，您将了解到海德汉公司各栅尺和角度编码器、旋转编码器、数显装置产品线的概要信息。有关特定产品的更详细信和数控系统。海德汉公司的产品被广泛应用息，请见第52页或访问www.heidenhain.de。于机床、自动化机器系统，尤其是应用于半我们的销售人员愿为您提供全面服务。有关地导体和电子制造业等领域。址和电话信息，请见第54页。海德汉公司在49个国家设有分公司，其中大多为全资子公司。我们的销售工程师和技术支持人员提供现场技术支持和服务。目录基

2、本原理和制造工艺4精密光栅－高精度的基础5长度测量6封闭式直线光栅尺敞开式直线光栅尺长度计角度测量20角度编码器旋转编码器机床数控系统36铣床和加工中心用轮廓加工数控系统数控编程站刀具和工件设置和测量44刀具测头工件测头测量值获取和显示46数显装置接口电子设备更多信息52联系信息54基本原理和制造工艺海德汉公司高质量产品源自专用的生产和测量设备。生产光栅尺的母模版是在专门设计的超净工作间生产的，它具有特殊的稳定温度和减振措施。光刻机以及生产和测量直线和圆光栅所需的机器大多由海德汉公司自己开发和制造。直线光栅尺测量机直线光栅尺检查站我们为用户提供大量高度个性化的直线和角度计量解决方案，

3、充分体现我们的超强竞争能力。在众多应用中，我们的产品还被大量应用在标准实验室设计研制的测量和检验设备，我们的角度编码器被应用在天文望远镜和卫星接收天线上。毫无疑问，海德汉的标准产品也受益于其中所积累的知识和经验。角度比较仪，测量步距约为0.001"超大天文望远镜（VLT），智利帕拉尼尔（照片由ESO提供）4精密光栅－高精度的基础海德汉公司光栅尺或编码器的核心是我们的测量基准，通常为0.25µm至10µm线宽的光栅尺。这些精密光栅尺采用海德汉公司发明的光刻工艺生产（例如DIADUR或AURODUR），它是光栅尺或编码器功能和精度的决定性因素。光栅是由一系列等间距排列的刻线和狭缝组成，其

4、间距误差极小，刻线边缘整齐清晰。这些光栅尺能抵抗机械和化学以及振动和冲击的影响。具有可定义的温度特性。相位光栅的刻线高度约为0.25µmDIADUR相位光栅MAGNODURDIADUR精密光栅尺在基体上沉淀一层极薄采用特殊制造工艺生产的三维结构光栅，微米级磁膜构成的精细磁栅。的铬，基体通常为玻璃或玻璃陶瓷。这种具有特殊的光学特性。这种结构的光栅宽光栅尺精度可达到微米级或亚微米级。度只有几微米至四分之一微米。AURODURSUPRADURAURODUR光栅尺由高反射率的金线和亚SUPRADUR工艺生产的光栅的光学特性类光蚀刻的狭缝组成。AURODUR光栅尺的似于相位光栅，但它具有平面结

5、构，因此基体通常为钢带。抗污染能力强。METALLURMETALLUR光栅尺具有独特金反光层的光学材料，接近为全平面结构。因此它抗污染能力强。采用不同的基体材料的DIADUR和AURODUR光栅尺5Lieferuebersicht_en.indd526.09.200808:32:11长度测量封闭式直线光栅尺敞开式直线光栅尺海德汉公司的封闭式直线光栅尺能有效防海德汉公司的敞开式直线光栅尺的读数头尘、防切屑和防飞溅的切削液，是用于机与光栅尺或钢带光栅尺间没有机械接触。床的理想选择。这种光栅尺的典型应用包括测量机、比较•精度可达±2µm仪和长度计量领域的精密仪器以及生产和•测量步距可达0.

6、005µm测量设备，例如半导体工业的。•测量长度可达30m•精度可达±0.5µm或更高•安装简单、快捷•测量步距可达0.001µm（1nm）•安装公差大•测量长度可达30m•能承受大加速度载荷•读数头与光栅尺间无磨擦•抗污染能力强•尺寸紧凑和重量轻•运动速度快封闭式直线光栅尺有•标准光栅尺外壳―用于高振动频率―最大测量长度30m•纤细光栅尺外壳―适用于有限安装空间―最大测量长度达1240mm，配安装板或紧固元件可使最大测量长度达2040mm海德汉封闭式直线光栅尺的铝外壳可以有效保护光栅尺、读数头和导轨免受灰尘、切屑和切削液的影响。自动向下压的弹性密封条保持外壳密封。读数头运动导轨的摩

7、擦力很小，导轨在光栅尺内。读数头通过一个联轴器与外部安装架连接，联轴器可以补偿光栅尺和机床导轨之间不可避免的对正误差。DIADUR读数头光栅尺光源光电池密封条安装板6长度计增量式直线光栅尺通过从原点开始对测量海德汉公司的长度计自带测杆导轨。可用步距进行计数，或在进行细分处理后计算于监测工业计量的测量设备和用作位置编信号周期数的数量从而确定当前位置。海码器。德汉公司的增量式光栅尺或编码器提供参•精度可达±0.1µm考点，开机后必须执行参考点回零操作建•测量步