行业标准：JJG 28-2019平晶 (1).pdf

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1、中华人民共和国国家计量检定规程JJG28—2019平晶VerificationRegulationofOpticalFlats2019-09-27发布2020－03－27实施国家市场监督管理总局发布JJG28—2019平晶检定规程JJG28－2019代替JJG28－2000VrificationRegulationofOpticalFlats归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会主要起草单位：湖南省计量检测研究院中国计量科学研究院市场监管总局参加起草单位：苏州慧利仪器有限责任公司中国兵器工业第205研究所本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释JJG28—2019本规程主

2、要起草人：陈勇（湖南省计量检测研究院）张恒（中国计量科学研究院）曾琰（湖南省计量检测研究院）刘丽娟（湖南省计量检测研究院）参加起草人：韩森（苏州慧利仪器有限责任公司）柏文琦（湖南省计量检测研究院）王生云（中国兵器工业第205研究所）市场监管总局市场监管总局JJG28—2019目录引言………………………………………………………………………………………（Ⅱ）1范围………………………………………………………………………………………（1）2引用文件…………………………………………………………………………………（1）3概述………………………………………………………………………………………（1）4

3、计量性能要求……………………………………………………………………………（2）4.1平行度…………………………………………………………………………………（2）4.2工作面平面度…………………………………………………………………………（3）4.3非工作面的平面度……………………………………………………………………（4）4.4稳定性…………………………………………………………………………………（4）5通用技术要求……………………………………………………………………………（4）5.1外观及表面质量………………………………………………………………………（4）5.2外形尺寸………………………………

4、………………………………………………（4）5.3长平晶十字刻线位置…………………………………………………………………（6）5.4两端面夹角…………………………………………………………………………（6）5.5工作面与圆柱母线的垂直度…………………………………………………………（7)6计量器具控制……………………………………………………………………………（7）6.1检定项目和主要检定设备……………………………………………………………（7）6.2检定条件………………………………………………………………………………（7）市场监管总局6.3检定方法………………………………………………………………

5、………………（10）6.4检定结果处理…………………………………………………………………………（13）6.5检定周期………………………………………………………………………………（13）附录A平晶表面疵病的尺寸及数量……………………………………………………（14）附录B相移式等厚干涉测量法…………………………………………………………（16）附录C等厚干涉测量法…………………………………………………………………（19）附录D等倾干涉测量法…………………………………………………………………（22）附录E四面互检法检定长平晶数据处理实例…………………………………………（24）附录F长平晶自重变

6、形量………………………………………………………………（28）附录G检定证书和检定结果通知书内页格式…………………………………………（30）IJJG28—2019引言JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1002-2010《国家计量检定规程编写规则》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规程修订工作的基础性系列技术法规。本规程与JJG28-2000《平晶》相比，除编辑性修改外，主要技术改进如下：——原JJG28-2000《平晶》检定规程的印刷错误，现更正如下：2d2d原规程P25页文字第3行：FF96应为：FF96

7、969655P12页第1行：uu应为：uu21ba1212P20附录C第1行第8列：Ei=(Li/Ln)Kn应为：Ei=(Li/Ln)△Kn——310mm长平晶两次周期检定平面度之差从0.020μm放宽为0.030μm。——依据JJG146-2011《量块》，取消了6等量块，改用5等量块（见6.3.2）。——取消了平行平晶平行度在激光平面等厚干涉仪上检定的方法。市场监管总局——增加相移式等厚测量装置的结构概述、测量方法（附录B）等相关