平晶使用平面平晶使用方法.doc

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1、平晶使用Webon快速平面度检测一．首先采用平面检测仪器对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度如研磨后的器件达到5um以内可以用平晶进行检测未达到继续研磨器件可以不用下盘。FG-5检测120以内FG-7检测170以内FG-9检测220以内FG-30检测650以内二达到5um以内用平面平晶体检测．首先看是否有条纹。是否合格以300的密封器件为例的。检测的整个面必须首先看到同心圆才合格2um的面型精度整个面的同心圆条纹小于3个1个同心圆条纹精度大于在0.8um3个就是2.4um左右也就是说必须是小于

2、3个的同心圆条纹才合格。N<3Cdw-30I30mmΦ3015mmCdw-45I45mmΦ4515mmCdw-60I60mmΦ6020mmCdw-80I80mmΦ8020mmCdw-100I100mmΦ10025mmCdw-150I150mmΦ15030mmCdw-200I200mmΦ20040mmCdw-250I250mmΦ25045mmCdw-300I300mmΦ30045mmCdw-350I350mmΦ35045mmCDX-ML18CDX-ML30三。以下是检测中会出现的问题。条纹非常密集。两种

3、情况。1.加工出得元件精度远远不够。2.平晶和元件之间有异物灰尘没处理干净条纹非常乱情况是加工的研磨盘凹凸不平不在一个平面上。元件研磨后整个面就是乱的、同心圆条纹圈数太多。情况是元件精度还不达标继续研磨直到圆圈数少于3个。以上的假设的情况现场情况有变化请及时联系我们成都威博恩科技有限公司我们致力于做全球最好的光测试产品