磁控溅射镀膜机使用说明.doc

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1、磁控溅射镀膜机使用说明1、检查水箱液面高于冷却管，三相电指示灯，出气管放到窗外。（推荐用纯净水）2、放样品a、打开放气阀，打开侧门，关闭放气阀。（或看真空计示数）b、升顶盖c、放靶材，放样品，用万用表检查靶材与外壳是否短路d、降顶画，关侧门3、抽真空a、手按住侧门，开机械泵，开电磁阀，开预抽阀b、清洗Ar气管，将Ar气减压阀关闭（逆时针），将Ar气开关打向（D08－1F）清洗，示数降为零（0.1－0.2）打到关闭，打开Ar气瓶上减压阀0.2Mpac、当气压计小于5pa，开分子泵（先合上电源，再按运行，运行一段时间后自动停止），关预抽阀，开抽板阀d、烘

2、烤（约半小时），关烘烤（未做）e、等待真空至要求值。4、溅射关小抽板阀，打开Ar气开关至阀控，流量设置为要求值（文献），调节抽板阀令腔内气压至工作气压（文献Ar气压）20pa打开偏压电源（直流），打开基底挡板，清洗基底（清洗完关基底挡板）。恒电流：打开射频电源，调节功率至要求值，打开靶材挡板，开始溅射。射频电源要令Pr尽可能至零（调节LOAD，TUNE调占空比）。打开基底挡板，开始溅射。5、停机溅射完，关射频电源off,流量调至0，关Ar气至关闭，打开抽板阀，抽真空1小时。关抽板阀，关分子泵（先按STOP，一直到示数为0，再关闭电源），关电磁阀，关机

3、械泵。6、关气瓶（主）注意：1、不允许真空状态下，打开顶盖升降。2、不允许分子泵，运行时，打开充气阀。3、Ar气减压阀，一定逆时针关闭后才能清洗Ar气管。4、5、6、