52磁控溅射镀膜机可行性论证报告书（F1）

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1、52号申请购置仪器(设备)可行性论证报告书仪器(设备)名称高真空多功能磁控溅射仪所属实验室废油资源化技术与污染治理研究实验室申报负责人冯永成申报部门废油资源化技术与装备工程研究中心申报时间2008－9－15重庆工商大学制表一、申请购置仪器(设备)概况仪器(设备)名称中文高真空多功能磁控溅射仪外文(原文)参考单价人民币(万)20.0数量1总价20.0美元(万)主要供货渠道原产地沈阳国别中国生产厂家中科院沈阳科仪中心型号规格JGP350拟安装地点废油资源化技术与污染治理研究实验室使用单位废油资源化技术与装备工程研究中心使用方向教学研究生、本科、专科、

2、高职科研科学研究、产品开发、生产其它技术培训、对外服务主要用途教学和科研服务对象废油资源化技术与污染治理研究实验室使用效率计算人时/年(月)使用单位负责人郑旭煦操作、管理人员冯永成主要技术指标• 极限真空：优于6.6×10-5Pa；• 真空室尺寸：Ф350×280（mm）为圆筒形立式全不锈钢结构• 样品加热温度：可水冷、可加热到600℃• 基片尺寸、数量：最大Φ30mm、一块• 靶的尺寸、数量：靶材直径Ф50mm、二个永磁靶、一个电磁靶• 基片可加负偏压、可自转• MFC质量流量计控制器进气• 计算机控制挡板开关• 总功率：380V，8KW• 冷

3、却水：水压1～2公斤/平方厘米，流量：≈0.6立方米/小时• 占地面积：主机：1200×800（毫米）·电控柜：700×700（毫米）共二个对安装使用环境及附属设施的要求项目安装、使用条件其它要求项目安装、使用条件其它要求水/空调/电/气/地面/二、辅助(配套)设备(设施)辅助(配套)设备(设施)经费来源/辅助设备总额(人民币元)/仪器设备投入运行后的维持费及运行费及落实情况维持费/运行费/主要辅助配套设备设施名称参考型号金额资料来源////维护维修能力情况/三、可行性分析论证1、拟购置仪器(设备)的必要性及对实验室建设目标的作用1.1对建设目标

4、的作用对工程中心环保装备的研制与制造提供硬件支持，同时对方向4（催化材料）的发展具有重要的支撑作用，对应用化学、材料等专业课可提供实验课程。(此页不够，自行另加附页)1.2在教学、科研中的主要使用范围(简述)可应用于应用化学本科专业实验教学及研究生课程实验，同时对将来高层次项目的申报也具有重要的作用。1.3对仪器(设备)资源共享及开放、对外服务的设想/2、主要仪器(设备)选型依据2.1本校（院）、重庆地区及国内同类仪器(设备)配置情况/2.2国内、外同类仪器(设备)性能比较选择顺序首选厂家次选厂家备选厂家厂家名称中科院沈阳科仪中心有限公司　北京北

5、仪创新真空技术有限责任公司北京中科科仪技术发展有限责任公司　主机金额20.025.022.0主要技术指标l极限真空：优于6.6×10-5Pa；l真空室尺寸：Ф350×280（mm）为圆筒形立式全不锈钢结构l样品加热温度：可水冷、可加热到600℃l基片尺寸、数量：最大Φ30mm、一块l靶的尺寸、数量：靶材直径Ф50mm、二个永磁靶、一个电磁靶l基片可加负偏压、可自转lMFC质量流量计控制器进气l计算机控制挡板开关l总功率：380V，8KWl冷却水：水压1～2公斤/平方厘米，流量：≈0.6立方米/小时l占地面积：主机：1200×800（毫米）l电控柜

6、：700×700（毫米）共二个售后服务情况2.3仪器(设备)选型的技术、价格、性能综合评价/3、投资效益预测3.1在教学活动中服务的课程名称及实验课时，每年可使用时间(小时)/3.2仪器设备服务的主要科研课题(国家级、省级或其它)及效益预测3.3该仪器(设备)资源共享、对外服务的辐射面及效益预测/4、环境影响评价/四、对拟购置仪器(设备)的其它要求及建议　　五、审批意见设备申报人签字：年月日1、实验室（研究方向）意见方向负责人签字：年月日2、直管单位意见　　负责人签字：(公章)年月日3、专家组论证意见　专家组组长签字：年月日　4、学校审批意见学校

7、领导：(公章)年月日超高真空多功能磁控溅射仪一、仪器设备1.生产厂家及型号：中国科学院沈阳科学仪器研制中心，JGP560CI型2.主要技术参数：系统极限真空：12小时烘烤液氮冷阱内加注液氮可达6.6x10-6Pa。靶的结构尺寸：靶直径70mm，水冷，靶与基片距离从40到80mm连续可调。溅射压强：0.5到5Pa。3.仪器性能：（1）溅射仪共有4个靶，可放置4种材料。其中1号靶为射频靶，可以溅射导体、半导体以及绝缘材料；2号和3号靶为直流磁控靶，可溅射（磁性不强的）导电材料；4号靶为永磁靶，可溅射导电材料（主要是铁、钴等强磁性金属或合金）。（2）溅

8、射仪有6个样品台，制备6个相同或不同的样品。其中6个样品台中有5个水冷台，1个加热炉台。水冷台可在室温下制备样品，加热炉台温度最高可到4