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《英福康 氦质谱仪UL1000 & UL1000FAB.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、检漏仪UL1000氦检漏仪氦检漏仪UL1000带旋片泵的移动式UL1000是一台自动化检漏仪,提供快速抽空和短的响应时间,用于在工业系统中快速取得测试结果.用户优越性典型用途·跨越15个量级的宽测量范围试漏和质量控制各种类型的元件,包括·短的抽空和响应时间·汽车元件·可移动，全金属外壳,具有无比的便利性与可操作性·制冷和空调元件和次装配件·I-CAL(漏率的智能计算程序)确保在全部测量范围内最快·密闭性封闭的电子学元件速的响应时间·热交换器·自动集成时间准直的抑零功能用于快速与可靠的测试结果·耐用的粗抽泵和多进气口涡轮分子泵的智能真空设计提供高
2、的氦抽速和高压缩比先进的软件功能：自动漏率测试·可转动的显示器和用户界面,可简单和容易地控制和与仪这个功能可以控制测试周期和进入测试参数,如器交流·测量的周期时间·自保护功能,避免UL1000受到氦或微粒的污染·触发值·自动冲净周期确保清理和准备测试·测试的试件数·软件更新简易地通过电子邮件可在显示器上自始至终地监测测试周期.检漏盒选件TC1000·耐用质谱仪系统的双灯丝离子源(3年保用期)保证长的运行(见页36)使UL1000成为用户友好的密闭性封闭元件的工作台.时间和低的维护费用当盖上室盖时,测试过程自动开始,可达到短的周期时间(10-9毫
3、·内置的测试漏孔用于内部校准保证精确的测试结果巴·升/秒在<5秒的时间周期内).测试的状态始终在显示器上监测.在达到测试时间后,测试停止和室放空.可选的“待用”模式·内置软件菜单“自动试漏”功能,执行密闭性封闭元件的测试.在不连续的漏率测试中,将室保持在真空下.保护功能防止因大漏使用检漏盒TC1000选件(见页36)可自动化运行这个测试.的氦污染和确保连续运行.检漏仪产品目录2007.14UL1000氦检漏仪检漏仪技术规范UL1000最小氦可检漏率(真空模式)*)<5x10-12毫巴·升/秒最小氦可检漏率(吸枪模式)*)<5x10-8毫巴·升/
4、秒最大氦可检漏率,可显示的0.1毫巴·升/秒最大进气口压强GROSS模式:15毫巴FINE模式:2毫巴ULTRA模式:0.4毫巴抽速在抽空过程中16米3/小时(11.2呎3/分),50Hz氦抽速GROSS模式:最大8升/秒FINE模式:7升/秒ULTRA模式:2.5升/秒漏率讯号的时间常数(盲住,63%最终值)<1秒抽空时间,直到准备检漏(本底5x10-9)无附加容积5秒测试容积1升10秒测试容积10升80秒响应时间(漏率10-9毫巴·升/秒)容积高至1升<1秒容积高至10升<2秒直到仪器准备好运行的时间<3分钟可检质量数2,3,4质谱仪180
5、°扇形磁场离子源2根灯丝,敷涂氧化铱/钇校准漏孔TL7(内置)漏率范围10-7毫巴·升/秒测量单位(可选)毫巴·升/秒,帕·米3/秒,乇·升/秒,大气压·毫升/秒,ppm,克/年(仅吸枪模式)测试口25KF可调整的触发点2接口RS232输入/输出PLC兼容,用于控制和状态信息图形记录仪输出2x10伏电源电压230伏(±10%)50Hz115伏(±10%)60Hz100伏(±10%)50/60Hz功耗1100伏安尺寸(长x宽x高)1068x525x850毫米(42x21x33吋)重量110公斤(242磅)保护类型IP40允许环境温度(运行中)+1
6、0°C…..+40°C*)按AVS和EN1518标准订货资料件号UL1000,230Volts,50Hz,EU电源插头550-000UL1000,115Volts,60Hz,US电源插头550-001UL1000,110Volts,60Hz,日本电源插头550-002测试室TC1000551-005带锁的工具箱,可携带551-000氦瓶支座551-001ESD垫551-002遥控件手持单元20099022电缆(需要的),4米长20099027延伸电缆,10米(最大延伸长度34米)14022PC软件LeakWare14090吸枪管线SL200,4
7、米长14005检漏仪产品目录2007.15检漏仪UL1000Fab氦检漏仪干式氦检漏仪UL1000Fab本身带有干式真空系统的移动式UL1000Fab是一台自动化检漏仪,提供快速抽空和短的响应时间,符合半导体应用要求.用户优越性典型用途·跨越15个量级的宽测量范围·短的抽空和响应时间·试漏:·可移动，全金属外壳,具有无比的便利性与可操作性·元件·I-CAL(漏率的智能计算程序)确保在全部测量范围内最快速·室的响应时间·次组装件·自动集成时间准直的抑零功能用于快速与可靠的测试结果用于·带耐用涡卷泵和多进气口涡轮分子泵的智能真空设计提供·半导体工艺
8、程序高的氦抽速和高压缩比·平板显示器工艺程序·可转动的显示器和用户界面,可简单和容易地控制和与仪·密闭性封闭电子学元件的试漏器交流·自保护功能,避免U
