英福康氦检仪技术手册

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1、UL1000Fab技术手册第109页共109页技术手册2003年3月11日2.0版UL1000Fab氦检漏仪109UL1000Fab技术手册第109页共109页目录1一般信息1.1本手册使用符号1.1.1安全符号1.1.2指示符1.1.3真空符号1.1.4术语定义1.2INFICON服务的支持1.2.1维修中心1.3前言1.3.1用途1.3.2技术参数1.3.2.1物理参数1.3.2.2电气参数1.3.2.3其它参数1.3.2.4环境条件1.4开箱1.4.1设备供货范围1.4.2附件与选件1.4.2.1吸入器管线SL2001.4.2.2工具箱1.4.2.3氦气

2、瓶支架1.4.2.4ESD垫层1.4.2.5手持单元2安装2.1运输2.2就位2.3电连接2.3.1供电电源2.3.2数据采集系统的连接2.3.2.1附件2.3.2.2数字输出2.3.2.3数字输入2.3.2.4记录仪2.3.2.5RS2322.3.2.6手持单元2.4真空连接件2.4.1进气口2.4.2排气2.4.3放空2.4.4冲洗/气镇3初始运行检查3.1需要的设备3.2初始运行说明3.2.1启动与测量0-2109UL1000Fab技术手册第109页共109页3.2.2内部校准3.2.3验证4说明和工作原理4.1前言4.2UL1000Fab的组件4.2.

3、1真空系统4.2.2控制面板4.2.2.1液晶显示器4.2.2.2启动按键4.2.2.3停止按键4.2.2.4抑零按键4.2.2.5菜单按键4.2.2.6软键4.2.2.7数值输入4.3工作模式4.3.1真空模式4.3.2吸入器模式5UL1000Fab的运行5.1显示屏5.2起转模式中的显示屏5.3测量模式中的显示屏5.3.1校准的调用5.3.2扬声器音量5.3.3显示屏的状态线5.3.4数值显示模式5.3.5趋向模式6菜单说明6.1主菜单6.2一览6.2.1线性/对数刻度6.2.2显示范围自动/手动6.2.3时间轴6.2.4对比度6.2.5待用模式中的本底6

4、.2.6小数点位数6.2.7漏率过滤器6.3模式6.4触发与警告6.4.1触发值16.4.2触发值26.4.3音量6.4.4单位6.4.5警告延迟6.4.6音响警告型式6.4.6.1定点0-3109UL1000Fab技术手册第109页共109页6.4.6.2漏率正比6.4.6.3设点6.4.6.4触发警告6.5校准6.6设定值6.6.1真空设定值6.6.1.1放空延迟6.6.1.2保护功能6.6.1.3内测试漏孔漏率6.6.1.4机器因素6.6.2抑零-时间6.6.3质量6.6.4接口6.6.4.1记录仪输出6.6.5杂项6.6.5.1时间和日期6.6.5.3

5、语言6.6.5.3校准请求6.6.5.4电源频率6.6.5.5服务区间排气过滤器6.6.5.6服务信息排气过滤器6.6.6参数保存/载入6.6.6.1载入参数组16.6.6.2载入参数组26.7信息6.7.1服务6.7.1.1调试6.7.1.2因素6.7.1.3切换灯丝6.7.1.4高级功能6.7.1.5手动调谐6.7.1.6复位功能6.8查访控制6.8.1查访校准功能6.8.2更改菜单-PIN6.8.3更改设备-PIN6.8.4抑零7校准7.1前言7.2校准进程7.2.1内部校准7.2.1.1自动内部校准7.2.1.2手动内部校准7.2.2外部校准8误差和警

6、告信息8.1提示0-4109UL1000Fab技术手册第109页共109页8.2信息清单9接口说明9.1ASCII-模式9.1.1误差信息9.1.2参数9.1.3实例9.1.4指令清单9.2二进制模式9.2.1实例9.2.2数据格式9.2.3误差信息9.2.4指令10维护10.1INFICON服务10.2维护计划10.2.1最小维护10.2.2标准维护10.2.3高级维护10.3维护步骤10.3.1更换排气消音器10.3.2打开UL1000Fab10.3.3检查/更换过滤器过滤筛网10.4涡轮分子泵10.5涡旋泵附录A图B索引0-5109UL1000Fab技术

7、手册第109页共109页1一般信息注意我们建议您仔细阅读本使用说明书，以保证从一开始就进入最佳工作状态。本使用说明包含有关UL1000Fab的功能、安装、启动和运行等重要信息。一般说明本公司保留设计与特定参数的更改权。图示是无约束的。1.1本手册使用符号1.1.1安全符号有关操作安全与保护的重要标注如下：注意有关正确搬运与使用设备的信息。忽视将导致误动作或设备的局部损伤。警告有关防止大范围地损坏设备和环境的信息。危险有关防止各种人身伤害的信息。熟练人员表示必须由熟练人员才能执行的步骤。1-1109UL1000Fab技术手册第109页共109页1.1.2指示符提

8、示有关有益的步骤的信息。注意有关用户必