毫米波波导器件超声波去毛刺技术的研究.pdf

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1、第29卷第1期2016年1月机电产品开崖与剀新Devel叩ment＆I衄ov撕on0fM酏hinery＆E1ectricalProductsV01．29．N0．1Jan．．2016文章编号：1002—6673(2016)01埘9-03毫米波波导器件超声波去毛刺技术的研究林奈(中国电子科技集团公司第十研究所，四川成都610036)摘要：毫米波波导裂缝阵天线和毫米波收发组件波导腔体等精密波导器件要求无损伤去毛刺，采用超声波去毛刺方法．对波导裂缝阵列天线和收发组件波导腔体两种典型毫米波精密波导器件进行去毛刺试验．验证超声波无损伤去除毛刺的工艺效果。研究结果表明，在一定的工艺参数条件下，超声波振

2、动120S后可高效去除3A21铝合金和5A06铝合金毫米波波导器件的微细毛刺，实现毫米波波导器件无损伤去毛刺要求，而H62黄铜毫米波波导器件由于材料塑形较高，毛刺与基体附着力强，超声去毛刺效果较差。关键词：超声波；毛刺；铝合金；铜合金；毫米波器件中图分类号：7IHl22文献标识码：Adoi：10．3969“．issn．1002—6673．2016．01．004MicmDebur血gT∞hnolo野ofMilimete卜waVeWavegI吐dePartsUsingUtm舯nicVmm廿onLINN函(SoudlwestChillaInsdcuteofElecnD血cTechn0109y，

3、ChengduSichuall610036，ChiIla)Abstmct：Thisstudyisfocusedon出eIIlicrodebu血gtechnologyofmil证”ter—wavewaveguideparbusingultrasollicVibndon．Ther11il—limeter—wave、ⅣavegIlideslot—amy孤te皿aandtramceiverrrloduleca_、rityareusedaStlles枷plesfor出eul廿asomc—debllrringe)叩e抽ents．Ther嚣山tsho、】lrstl=Latmostofdlebllrrc

4、蛆beremovedforal皿【1inurnaUoy(i．e．，5A06，3A21)using11l矗asollicvib删ona缸r120s，w11ichcansads母dlerequestofmilinleter—wavedevicepracdcability．w11ile，出edebu血gresultofcopperisnotob、rious，dueco怄11ighplasdcityandlliglladhesionbe咖een出eburrand山epart．Key删s：111臼r越onic、ribra60n；burr；alum血眦alloy；copperal：loy；nlihe

5、ter—waVepart0引言毫米波波导器件往往是毫米波装备的关键部件，由于工作于毫米波频段。其加工精度要求比微波频段高得多，不仅器件的尺寸精度、位置精度、形状精度直接影响毫米波器件性能，而且残存的毛刺除了在加工过程中破坏下道工序的定位、干扰测量精度，还在装配工序中直接影响装配质量。通常。加工中产生的毛刺由钳工采用毛刷、细砂纸等工具手工去除，但往往仅能去除肉眼可见的粗大毛刺．零件加工过程中同时会产生大量肉眼很难直接观察的微细毛刺，这些尺寸小于加工精度范围的微细毛刺通常附着力较小，容易在后续产品工作过程中脱落。形成多余物，甚至造成器件短路，严重影响产品可靠性；而钳工去除这些微细毛刺必须在显

6、微镜下操作。大大增加了零件生产时间和成本，而且人工去毛刺容易给工件修稿日期：2015一”一12作者简介：林奈(1984一)，男，四川成都人，博士，工程师。主要从事电子设备及系统工艺研究和产品技术策划工作。表面造成损伤。毛刺尤其是微细毛刺的控制与去除已成为毫米波波导器件精密、超精密加工的关键技术，迫切需要采用自动化加工实现微细毛刺的无损伤去除。保证毫米波波导器件高精密、无毛刺加工要求。1超声波去毛刺原理及特点超声波设备换能器将高频振荡的电信号转换成高频振荡的机械信号，以纵波形式在液体中传播，在纵波扩展期间，液体致密性被破坏并形成大量直径在50斗m～500斗m的真空气泡，在纵波压缩期间，这些

7、气泡受压又迅速破裂，并形成高达几百个大气压的瞬间压力。这种现象被称为“空化”现象。超声波去毛刺就是利用“空化”现象产生的瞬间高压冲击把附着在零件基体上的毛刺去除掉。超声波去毛刺应用于各种带有空腔、沟槽、细孔等形状复杂的精密零件表面微细毛刺的去除．能大大降低人工去毛刺损伤表面的可能性。实现微损伤甚至是无损伤去毛刺的工艺要求；而且，超声波去毛刺对环境几乎完全没有污染，所用耗品少，只有水电气及过滤芯；此外，超声9·开发与创新·波去毛刺还能