扩散硅压力传感器原理介绍.pdf

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1、扩散硅压力传感器原理介绍一、扩散硅压力传感器原理扩散硅压力传感器是以单晶硅为基体，采用先进的离子注入工艺和微机械加工工艺，制成了具有惠斯顿电桥和精密力学结构的硅敏感元件。被测压力通过压力接口作用在硅敏感元件上，实现了所加压力与输出信号的线性转换，经激光修调的厚膜电阻网络补偿了敏感元件的温度性能。二、扩散硅压力传感器概述扩散硅压力传感器采用带不锈钢隔离膜的扩散硅压阻式压力传感器作为信号测量元件，信号处理电路位于不锈钢壳体内，传感器信号经过专业信号调理电路转换成标准4-20mA电流或RS485信号输出。扩散硅压力传感器DATA-52系列经过了长期老化及稳定性

2、考核等工艺，性能稳定可靠。扩散硅压力传感器广泛地应用于石油、化工、冶金、电力等工业过程现场测量和控制。扩散硅压力传感器DATA-52系列三、技术特点：◆标准螺纹引压测量方式。1◆全不锈钢结构，防护等级IP68。◆测量精度高达0.1级。◆RS485、4~20mA输出可选。◆聚氨酯专业电缆，耐高温、耐腐蚀。四、性能指标：测量介质：液体或气体（对不锈钢壳体无腐蚀）量程：0-1MPa精度等级：0.1%FS、0.5%FS（可选）稳定性能：±0.05%FS/年；±0.1%FS/年输出信号：RS485、4~20mA（可选）过载能力：150%FS零点温度系数：±0.01

3、%FS/℃满度温度系数：±0.02%FS/℃防护等级：IP68环境温度：-10℃～80℃存储温度：-40℃～85℃供电电源：9V～36VDC；结构材料：外壳：不锈钢1Cr18Ni9Ti密封圈：氟橡胶膜片：不锈钢316L电缆：φ7.2mm聚氨酯专用电缆五、电气连接：红色电源+红色电源+蓝色压力气压压传力感器电源-气压传感器黄色变送器蓝色DAT变A-送52器系列RS485(A)输出DATA-52系列4~20mA输出白色RS485(B)输出RS485输出接线图（四线制）4~20mA输出接线图（两线制）2六、外形尺寸：单位：mm气压传感器接口螺纹：标准M20×1

4、.5或G1/2。七、使用注意事项：1．防止扩散硅压力传感器与腐蚀性或过热的介质接触；2．防止渣滓在导管内沉积；3．扩散硅压力传感器测量液体压力时，取压口应开在流程管道侧面，以避免沉淀积渣；4．测量气体压力时，取压口应开在流程管道顶端，并且变送器也应安装在流程管道上部；5.接线时，将电缆穿过防水接头(附件)或绕性管并拧紧密封螺帽，以防雨水等通过电缆渗漏进扩散硅压力传感器壳体内；6.扩散硅压力传感器测量蒸汽或其它高温介质时，需接加缓冲管(盘管)等冷凝器，不应使变送器的工作温度超过极限；7.扩散硅压力传感器导压管应安装在温度波动小的地方。3