扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验

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1、实验十一扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。二、实验仪器压力传感器模块、温度传感器模块、数显单元、直流稳压源+5V、±15V。三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，摩托罗拉公司设计出X形硅压力传感器如下图所示：在单晶硅膜片表面形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出端引出，用制造集成电路的方法封装起来，制成扩散硅压阻式压力传感器。扩散硅压力传感器的工作原理：在X形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流，当敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当有剪切力作用时，在

2、垂直电流方向将会产生电场变化，该电场的变化引起电位变化，则在端可得到被与电流垂直方向的两测压力引起的输出电压Uo。（11-1）式中d为元件两端距离。实验接线图如图11-2所示，MPX10有4个引出脚，1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V电源、4脚为Uo-；当P1>P2时，输出为正；P1

3、短路导线。5．气室1、2的两个活塞退回到刻度“17”的小孔后，使两个气室的压力相对大气压均为0，气压计指在“零”刻度处，将MPX10的输出接到差动放大器的输入端Ui，调节Rw1使直流电压表200mv档显示为零。6．保持负压力输入P2压力零不变，增大正压力输入P1的压力到0.01MPa，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力达到0.095Mpa；填入下表1。7．保持正压力输入P1压力0.095Mpa不变，增大负压力输入P2的压力，从0.01MPa每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力达到0.095Mpa；填入下表2。8．保持负压力输入P2压

4、力0.095Mpa不变，减小正压力输入P1的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P1的压力为0.005Mpa；填入下表3。9．保持负压力输入P1压力0Mpa不变，减小正压力输入P2的压力，每隔0.005Mpa记下模块输出Uo2的电压值。直到P2的压力为0.005Mpa；填入下表。10．实验结束后，关闭实验台电源，整理好实验设备。五、实验数据记录与分析1、保持负压力输入P2压力零不变，增大正压力输入P1的压力P1(kP)0.010.0150.0200.0250.0300.0350.0400.0450.050Uo2（V）1.6082.283.023.544.224.8

5、95.456.076.63P1(kP)0.0550.0600.0650.0700.0750.0800.0850.0900.095Uo2(V)7.057.798.218.739.259.6210.0310.5811.04（表1）用matlab绘制P1-Uo2曲线图如下图所示2、保持正压力输入P1压力0.095Mpa不变，增大负压力输入P2的压力P2(kP)0.010.0150.0200.0250.0300.0350.0400.0450.050Uo2（V）10.149.769.328.828.367.857.416.796.23P2(kP)0.0550.0600.0650.0700.075

6、0.0800.0850.0900.095Uo2（V）5.725.084.593.853.262.561.681.120.32（表2）用matlab绘制P2-Uo2曲线图如下图所示3、保持负压力输入P2压力0.095Mpa不变，减小正压力输入P1的压力P1(kP)0.0900.0850.0800.0750.0700.0650.0600.0550.050Uo2（V）-0.67-1.33-1.95-2.57-3.13-3.67-3.95-4.51-5.13P1(kP)0.0450.0400.0350.0300.0250.0200.0150.0100.005Uo2（V）-5.57-6.01-6

7、.27-6.70-7.18-7.52-7.90-8.22-8.55（表3）用matlab绘制P1-Uo2曲线图如下图所示4、保持负压力输入P1压力0Mpa不变，减小正压力输入P2的压力P2(kP)0.0900.0850.0800.0750.0700.0650.0600.0550.050Uo2（V）-8.05-7.71-7.30-6.92-6.50-6.11-5.70-5.34-4.89P2(kP)0.0450.0400.0350.0300.02