卢瑟福背散射谱法.doc

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1、卢瑟福背散射谱法英文名称：Rutherfordbackscatteringspectroscopy定义：以兆电子伏特级的高能氢元素离子通过针形电极(探针)以掠射方式射入试样，大部分离子由于试样原子核的库仑作用产生卢瑟福散射，改变了运动方向而形成背散射。测量背散射离子的能量、数量，分析试样所含有元素、含量和晶格的方法。卢瑟福背散射光谱(RBS)是一种离子散射技术,用于薄膜成份分析。RBS在量化而不需要参考标准方面是独一无二的。在RBS测量中，高能量(MeV)He+离子指向样品，这样给定角度下背向散射He离子产生的能量及分布情况被记录

2、下来。因为每种元素的背向散射截面已知，就有可能从RBS谱内获得定量深度剖析(薄膜要小于1毫米厚).1、RBS分析的理想用途l薄膜组成成份/厚度l区域浓度测定l薄膜密度测的（已知厚度）2、RBS分析的相关产业l航天航空l国防l显示器l半导体l通信3、RBS分析的优势l非破坏性成分分析l无标准定量分析l整个晶圆分析（150,200,300mm）以及非常规大样品l导体和绝缘体分析l氢元素测量4、RBS分析的局限性l大面积分析（~2mm）l有用信息局限于top~1μm