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时间:2020-06-03
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1、MEMS传感器MEMSandSensors电共轭液的应用现状李丹,朱平(中北大学a.电子测试技术重点实验室;b.仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030()5I)摘要:对电共轭液的特点及其工作原理进行了详细的描述,利用它在高压环境下能够产生射流这一现象来实现微领域上的改进与创新,重点对国外电共轭液在液态陀螺仪、仿生微手指、人工肌肉、微电机和CPU散热器中的应用概况进行了综述,指出每个应用的具体原理及实施方式。同时根据电共轭液的应用现状,提出了现阶段电共轭液的不足,即缺乏对电共轭液材料结构和性质的研究,没有从根本上解决驱
2、动电压高的问题,但是以上几种应用指出了电共轭液及其仿生器件的发展方向,这对微器件的发展尤为重要。关键词:电共轭液;液态陀螺仪;仿生微手指;人工肌肉;微电机;CPU散热器中图分类号:035;TH703文献标识码:A文章编号:167卜4776(2014)03—0176一()5ApplicationStatusoftheElectric—ConjugateLiquidLiDan.ZhuPing,(n.SciemandTechnologyonElectronicTest&MeasurementLaboratory:b.KeyLabo
3、ratoryoJInstrumentationScience&DynamicMeasurement,MinistryofEducation,NorthUniversityoJChina,Taiyuan030051,China)Abstract:Thecharacteristicsandworkingprincipleoftheelectricconjugateliquidaredescribedindetail,theimprovementandinnovationofthemicrofieldarerealizedbyth
4、ephenomenonofthejetproducedbytheelectric—conjugateliquidinahighpressureenvironment.Theapplicationsitua—tionsoftheelectric—conjugateliquidabroadintheliquidgyroscope,microbionicfinger,artificialmuscle,micro—motorandCPUradiatoraremainlysummarized,andthespecificprincip
5、leandim—plementationmethodofeachapplicationarepointedout.Meanwhile,accordingtOtheapplicationsituationoftheelectric—conjugateliquid,thepresentdeficienciesoftheelectric—conjugatefluidareproposed,i.e.thelessresearchonthematerialstructureandpropertyoftheelectric—conjug
6、ateliquidiscarriedout,theproblemofhighdrivingvoltageisnotfundamentallysolved.Basedontheaboveseveralkindsofapplications,thedevelopmentdirectionsoftheelectricity—conjugateliq—uidanditsbionicdevicesarepointedout,beingparticularlyimportanttothedevelopmentofmi—crodevice
7、s.Keywords:electric—conjugateliquid;liquidgyroscope;microbionicfinger;artificialmuscle;mi—cro—motor;CPUradiatorDOI:10.13250/j.cnki.wndz.2014.03.007PACC:0340G;071OC收稿日期:2013—12-01基金项目:山西省自然科学基金资助项目(201201I()10—2)E’mail:1586503135@qq.corn176MicronanoelectronicTechnol
8、ogyVo1.51No.3March2()14李丹等:电共轭液的应用现状片的旋转,从而起到散热的功效[2。目前台式电脑通常使用水槽冷却CPU,称为主动散热片,叶片利用电共轭液制作的CPU散热器旨在确定这种水槽的排热限制以及特定的风扇和散热器空间限制。这种散热器模型尺寸为8()mm×60mr
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