GB∕T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法.pdf

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1、犐犆犛０１．０４０．３９犖１０中华人民共和国国家标准犌犅／犜３８６１４—２０２０基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狀犪狀狅狆狅狊犻狋犻狅狀犻狀犵犪狀犱狊犮犪狀狀犻狀犵狊狋犪犵犲犫犪狊犲犱狅狀犳犾犲狓狌狉犲犺犻狀犵犲犿犲犮犺犪狀犻狊犿犪狀犱狆犻犲狕狅犪犮狋狌犪狋狅狉２０２００４２８发布２０２０１１０１实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会犌犅／犜３８６１４—２０２０目次前言……………………………………………………………

2、……………………………………………Ⅲ１范围………………………………………………………………………………………………………１２规范性引用文件…………………………………………………………………………………………１３术语和定义………………………………………………………………………………………………１４测量条件…………………………………………………………………………………………………１５测量仪器…………………………………………………………………………………………………１６测量方法……………………………………

3、……………………………………………………………１６．１轴向行程……………………………………………………………………………………………１６．２准确度………………………………………………………………………………………………２６．３单向重复定位精度…………………………………………………………………………………２６．４双向重复定位精度…………………………………………………………………………………３６．５迟滞误差……………………………………………………………………………………………４６．６线性度…………………

4、……………………………………………………………………………５６．７位移分辨力…………………………………………………………………………………………６６．８角摆偏差……………………………………………………………………………………………６６．９直线度………………………………………………………………………………………………８６．１０平面度………………………………………………………………………………………………９６．１１正交误差…………………………………………………………………………………………１０Ⅰ犌犅／犜

5、３８６１４—２０２０前言本标准按照ＧＢ／Ｔ１．１—２００９给出的规则起草。本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ１５３）提出并归口。本标准起草单位：沈阳建筑大学、三英精控（天津）仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学。本标准主要起草人：须颖、戴敬、邵萌、安冬、施玉书、贾静、戴超、文杰、石怀涛。Ⅲ犌犅／犜３８６１４—２０２０基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法１范围本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的

6、纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。２规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。ＧＢ／Ｔ１１３３６─２００４直线度误差检测ＧＢ／Ｔ３８６１６—２０２０纳米定位与扫描平台术语３术语和定义ＧＢ／Ｔ３８６１６—２０２０界定的术语和定义适用于本文件。４测量条件平台的测量应满足如下条件：ａ）测量场地应无影

7、响测量精度的灰尘、振动、气流扰动和较强磁场；ｂ）测量时的环境温度为（２０±１）℃，其变化应不大于０．５℃／ｈ；ｃ）测量时的环境相对湿度为（５０±５）％；ｄ）测量前应确认平台无影响测量正确性实施和测量结果的外观缺陷；ｅ）测量时平台处于正常工作状态。５测量仪器本标准中推荐使用激光干涉仪（以下简称干涉仪），角摆偏差也可使用自准直仪，测量仪器精度应满足测量要求。６测量方法６．１轴向行程６．１．１测量步骤将干涉仪严格对准平台，按照以下步骤进行轴向行程测量：１犌犅／犜３８６１４—２０２０ａ）将平台移动至行程反向

8、极限位置，干涉仪测量读数清零；ｂ）将平台移动至行程正向极限位置，记录干涉仪测量值；ｃ）重复步骤ａ）和步骤ｂ）不应少于３次。６．１．２计算轴向行程犜，按式（１）计算：狀犜＝狀１∑犜犼…………………………（１）犼＝１式中：犜犼———平台第犼次轴向行程测量值；狀———测量次数，狀≥３。６．２准确度６．２．１测量步骤将干涉仪严格对准平台，按照以下步骤进行准确度测量：ａ）按图１所示，在全行程平均分布１１个测量位置，分别为狆犻（犻＝１，２，…，１１），其中狆１为行程反向极限位置，