MEMS各种仿真软件的比较分析.doc

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1、《MEMS器件、仿真与系统集成》期中测验（三）（占考试成绩的20%，中英文答题均可，5月30日交电子版。任课教师：陈剑鸣）研究生：段海军（签字）学号：¨MEMS设计、仿真软件的综合比较。（占本课程的20%）。具体要求：1）用表格形式对MEMS常用的软件进行比较。比较的软件四大类：TannerPro（主要是L-edit），HFSS,CoventorWare，IntelliSense，ANSYS2）比较的内容：ü公司、厂家；ü软件的总体描述；ü软件的模块关系（模块组成）；ü按模块来阐述的主要用途；ü按模块来阐述的性能参数；ü软件所

2、做的实例图（分模块）。ü你对此软件（或者是具体模块）的看法和评价，不少于5个模块。作业作答如下：由于制作表格不是很方便，每个软件包含的内容非常多，所以我采用如下形式的方式来分析比较上面五个软件。一TannerPro（主要是L-edit）1.1公司、厂家：TannerResearch公司1.2软件的总体描述Tanner集成电路设计软件是由TannerResearch公司开发的基于Windows平台的用于集成电路设计的工具软件。该软件功能十分强大，易学易用，包括S-Edit，T-Spice，W-Edit，L-Edit与LVS，从电

3、路设计、分析模拟到电路布局一应俱全。其中的L-Edit版图编辑器在国内应用广泛，具有很高知名度。　　L-EditPro是TannerEDA软件公司所出品的一个IC设计和验证的高性能软件系统模块，具有高效率，交互式等特点，强大而且完善的功能包括从IC设计到输出，以及最后的加工服务，完全可以媲美百万美元级的IC设计软件。L-EditPro包含IC设计编辑器(LayoutEditor)、自动布线系统(StandardCellPlace&Route)、线上设计规则检查器（DRC）、组件特性提取器（DeviceExtractor）、设计

4、布局与电路netlist的比较器(LVS)、CMOSLibrary、MarcoLibrary，这些模块组成了一个完整的IC设计与验证解决方案。L-EditPro丰富完善的功能为每个IC设计者和生产商提供了快速、易用、精确的设计系统。TannerToolsPro是一套集成电路设计软件，包含以下几种工具：S-Edit(编辑电路图)。T-Spice（电路分析与模拟）。W-Edit（显示T-Spice模拟结果）。L-Edit（编辑布局图，自动布局布线，DRC，电路转化）。LVS（版图和电路图对比）。1.3软件的模块关系及其主要用途与实

5、例图S-Edit模块：可以继续在Core模块中继续寻找更低一级的模块，直至到MOS晶体管。T-Spice模块：是电路仿真与分析的工具，文件内容除了有元件与节点的描述外，还必须加上其他的设定。有包含文件（includefile）、端点电压源设置、分析设定、输出设置。L-Edit模块：是一个布局图的编辑环境功能包括设计导航、分析图层、截面观察、设计规则检查、转化等。LVS模块：是用来比较布局图与电路图所描述的电路是否相同的工具，也就是说比较S-Edit绘制的电路图与L-Edit绘制的布局图是否一致。图1S-Edit模块界面图图2S

6、-Edit实例图图3（a）T-Spice模块等效电路图（b）模拟仿真结果1.4TannerPro软件的设计流程TannerPro软件的设计流程可用如下图4所示；将要设计的电路先以S-Edit编辑出电路图，再将该电路图输出成SPICE文件。接着利用T-Spice将电路图模拟并输出成SPICE文件，如果模拟结果有错误，N回S-Edit检查电路图，如果T-Spice模拟结果无误，则以L-Edit进行布局图设计。用L-Edit进行布局图设计后要以DRC功能做设计规则检查，若违反设计规则，再将布局图进行修改直到设计规则检查无误为止。将验

7、证过的布局图转化成SPICE文件，再利用T-Spice模拟，若有错误，再回到L-Edit修改布局图。最后利用LVS将电路图输出地SPICE文件与布局图转化的SPICE文件进行对比，若对比结果不相等，则回去修改L-Edit或S-Edit的图；直到验证无误后，将L-Edit设计好的布局图输出成GDSII文件类型，再交由工厂去制作半导体过程中需要的光罩。如下是Tanner数字ASIC设计流程图：图4Tanner数字ASIC设计流程图1.5L-Edit模块介绍（1）L-Edit画图布局详细步骤1）打开L-Edit程序，保存新文件。2）

8、取代设定（File-ReplaceSetup）。3）环境设定（Setup-Design）。4）选取图层。5）选择绘图形状绘制布局图。6）设计规则设定（MOSIS/OPBIT2.OU）和设计规则检查（DRC）。7）检查错误，修改（移动）对象。8）再次进行设计规则检查。（2）使用