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1、《MEMS器件、仿真与系统集成》期中测验（三）（占考试成绩的20%,中英文答题均可，5月30日交电子版。任课教师：陈剑鸣）研究生：（签字）学号:♦MEMS设计、仿真软件的综合比较。（占本课程的20%）o具体要求：1）用表格形式对MEMS常用的软件进行比较。比较的软件四大类：TannerPro（主要是L-edit）,HFSS,CoventorWare,IntelliSense,ANSYS2）比较的内容：/公司、厂家；/软件的总体描述；/软件的模块关系（模块组成）；/按模块来阐述的主要用途；/按模块来阐述的性能参数；/软件所做的实例图（分模块）。/你对此软件（或者是具体模块）的看法和评价，不少
2、于5个模块。作业作答如下:•TannerPro（主要是L-edit）1.1公司、厂家：TannerResearch公司1.2软件的总体描述Tanner集成电路设计软件是由TannerResearch公司开发的基于Windows平台的用于集成电路设计的工具软件。该软件功能十分强大,易学易用，包括S-Edit,T-Spice,W-Edit,L-Edit与LVS,从电路设计、分析模拟到电路布局一应俱全。其中的L-Edit版图编辑器在国内应用广泛，具有很高知名度。L-EditPro是TannerEDA软件公司所岀品的一个IC设计和验证的高性能软件系统模块，具有高效率，交互式等特点，强大而且完善的功
3、能包括从IC设计到输出，以及最后的加工服务，完全可以媲美百万美元级的IC设计软件。L-EditPro包含IC设计编辑器(LayoutEditor)>自动布线系统(StandardCellPlace&Route)、线上设计规则检查器(DRC)、组件特性提取器(DeviceExtractor)>设计布局与电路netlist的比较器(LVS)>CMOSLibrary>MarcoLibrary,这些模块组成了一个完整的IC设计与验证解决方案oL-EditPro丰富完善的功能为每个IC设计者和生产商提供了快速、易用、精确的设计系统。TannerToolsPro是一套集成电路设计软件，包含以下几种工具
4、:S-Edit(编辑电路图)T-Spice(电路分析与模拟)W-Edit（显示T-Spice模拟结果）L-Edit（编辑布局图，自动布局布线，DRC,电路转化）LVS（版图和电路图对比）1.3软件的模块关系Tanner数字ASIC设计流程图：S-Edit电路图设*.spT-Spice仿真aW-Edit显示波形”LVS布局与原始电路比较aL-Edit/SPR^L-EdiVEXTRACT^L-EdiVDRC^*.spc1・4各模块的的描述以及实例图1.4.1S-Edit以及范例PiupertiesRrAwxerScheuMiftcWindoTV(ommjndLogWindowS-Edit13.
5、0界面S-Edit范例1.4.2T-SpiccT-Spice是电路仿真与分析的工具，文件内容除了有元件与节点描述外，还必须加上其他的设定。有包含文件、端点电压源设置、分析设定、输出设置。1.4.3LVSLVS是用来用来比较布局图与电路图所描述的电路是否相同的工具。也就是说比较S-Edit绘制的电路图与L-Edit绘制的布局图是否一致。需要spc文件和sp文件。1.5L-Edit的使用1.5.1L-Edit画图布局详细步骤打开L-Edit程序，保存新文件。取代设定(F订e-ReplaceSetup)。环境设定(Setup-Design)o选取图层。选择绘图形状绘制布局图。设计规则设定(MOS
6、IS/OPBIT2.0U)和设计规则检查(DRC)。检查错误，修改(移动)对象。再次进行设计规则检查。1.5.2使用L-Edit画PMOS布局图1)•用到和图层包括NWell,Active,NSelect,PSelect,Poly,Metal1,Metal2,ActiveContact,Via.2).绘制NWell图层：L-Edit编辑环境是预设在P型基板上，不需定义P型基板范围，要制作PM0S,首先要作出NWell区域。根据设计规则Well区电最小宽度的要求(102),可画出NWcl1区。3)・绘制Active图层：定义M0S管的范围。PM0S的Active图层要绘制在NWell图层之内
7、。根据设计规则要求，Active的最小宽度为32。可在NWell中画出Active图层。4)•绘制PSelect图层：定义要布置P型杂质的范围。绘制前进行DRC可发现相应错误。绘制时注意遵守4.2b规则：NotSelectedActive)o绘制时注意遵守4.2b规则：ActivetoP-SelectEdge最小2A。同时还要注意pcliff层与NWell层要遵守2.3a(5A)o5).绘制Poly图层：定义成长多晶硅，
