OLED器件制作关键步骤.doc

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1、OLED器件制作关键步骤ITO/Cr 玻璃清洗——→光刻——→再清洗——→前处理——→真空蒸发多层有机层(4-5 层)——→真空蒸发背电极——→真空蒸发保护层——→封装——→切割——→测试——→模块组装——→产品检验、老化实验以及QC 抽检工序目前典型的OLED量产制造工艺通常由ITO玻璃基板清洗-阳极光刻掩模-有机材料真空蒸镀(小分子OLED)/旋转涂布或喷墨打印(高分子OLED)-金属电极沉积-面板密封封装-模组装配-性能测试(贯穿整个过程)等几个主要部分组成

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