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1、电子工艺技术第3l卷第2期110ElectronicsProcessTechnology2010年3月LCD玻璃研磨机的工艺探讨冯振华,白变香(中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原030024)摘要:在介绍LCD玻璃基板研磨工艺流程及关键工艺技术要求的基础上,以自行研制的YM一950玻璃研磨机为例,探讨了获得研磨后最优玻璃表面平整度与粗糙度的研磨垫粗糙度、转盘旋转速度和上下研磨盘匹配的工艺参数。在YM一950玻璃研磨机上应用这些参数试制,可高速地获得优良的表面粗糙度。关键词:研磨;平整度;粗糙度;LCD
2、中图分类号:TN105文献标识码:A文章编号:1001—3474(2010)02—0110—03ProcessDiscussionofLCDGlassLappingMachineFENGZhen—hua,BAIBian—xiang(CETCNo.2ResearchInstitute,Taiyuan030024,China)Abstract:RegardingtheYM一950glasslappingmachinedevelopedindependentlyasanexample,introducethela
3、ppingprogressandkeytechnicalrequirements.Discusstheoptimalparameterssuchastheturntablerotatingspeed,ronghnessoflappingsheetandSOon,inordertogetexcellentflatnessandrough—ness.Makethetrialproductionbasedontheparameters,getbothhighspeedandoptimalroughness.Key
4、words:Lapping;Flatness;Roughness;LCDDocumentCode:AArticle玎D:1001—3474(2010)02—0110—03由于光纤传输网络具有高频宽、长距离以及高动可以去除玻璃基板表面异物,但此方法在切削器稳定性等优点,因此在光通讯领域应用愈来愈广泛。的刀刃接触玻璃面或在玻璃面上移动时,有时会伤光纤传输相关技术中的许多光通讯组件,都会使用及玻璃表面。光学玻璃等级的玻璃基板做为制造原料。另外,针对上述的问题,我公司发明了一种新型研磨LCD液晶显示器较CRT显示器
5、更为轻、薄、短和小,机YM一950玻璃研磨机,如图1所示,可将附着于并且更为省电,已成为显示器主流,也需要光学玻璃玻璃基板表面的异物在不伤及玻璃表面的情况下去等级的玻璃基板做为制造原料J。除,并且不会引起异物的再附着。其工作过程为将在制造液晶显示基板等的玻璃基板时,玻璃表需要研磨的玻璃基板放置于下研磨盘上,由贴附有面会处于高温状态,浮游于环境中的玻璃粒子等异研磨垫的上研磨头顺时针或逆时针转动,下研磨盘物(碎玻璃)极易附着在它表面;如果再经过3天~也沿与研磨头相反方向运动,进行研磨。研磨时可4天的长时间放置,
6、这些异物则会黏着于玻璃表面。按要求自动供给研磨液。而且,在制作液晶显示基板时,将液晶放进两玻璃基1研磨效果的评判因素板之间进行密封时使用的树脂封闭剂也会有附着于研磨后玻璃基板表面的平坦度与粗糙度是检验玻璃基板表面的情况出现。此种粘着于玻璃表面的研磨效果的重要因素。因为玻璃基板表面平坦度与碎玻璃或树脂等异物,很难用水清洗的方法去除。粗糙度的好坏将影响光通讯组件以及液晶显示装置使用切削器的刀刃接触玻璃面后在玻璃面上移的效能与品质,表面平坦度与粗糙度不佳将会造成作者简介:冯振华(1982一),男,毕业于太原理工大
7、学,主要从事电子专用设备的研发工作。2010年3月冯振华:LCD玻璃研磨机的工艺探讨光的散射现象,使通过玻璃基板的光强度降低,而且于玻璃面的碎玻璃或树脂等异物,当大于10m会使加工附着在玻璃基板表面的材质脱落,并发生时,则有影响到玻璃面品质的伤痕出现。变形及分布不均的现象。在玻璃基板研磨时所造成2.2圆盘旋转速度试验的刮伤以及坑洞是造成平坦度与粗糙度不佳的重要在研磨垫表面粗糙度为5m和圆盘直径为60因素。为了使研磨后的玻璃基板平坦度与粗糙度达mm的条件下,旋转速度30r/min~900r/min效果到最优效
8、果,需要对研磨工艺参数进行优化。与玻璃表面划伤情况见表2。表2圆盘旋转速度实验结果旋转速度∥(r·min)305070l002003o0异物去除效果X×△ooo有无玻璃伤痕oooooo旋转速度4005006o070o90o(r·min)异物去除效果ooooo图1YM一950研磨机示意图有无玻璃伤痕oo△××2研磨工艺参数分析由表2的实验结果可知,综合地评价异物的去本研磨机的研磨垫表面粗糙度和上下研磨盘运除效果与玻
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