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1、第31卷第4期合肥工业大学学报(自然科学版)Vol.31No.42008年4月JOURNALOFHEFEIUNIVERSITYOFTECHNOLOGYApr.2008镀膜玻璃膜层的针孔和结合力龚建华,杨有财,张永胜(合肥工业大学机械与汽车工程学院,安徽合肥230009)摘要:真空镀膜是材料表面改性的一个重要方面,目前已形成了一个巨大的产业,因此其质量的监控显得尤为重要。真空镀膜膜层质量涉及结构、理化及功能等方面。而在玻璃、亚克力等透明基片上用磁控溅射方法大面积沉积的膜层,针孔和结合力是一个令人关注的问题。文章针对针孔出现的机理
2、,较详细地讨论了消除或减少针孔的有效方法;分析了影响膜层结合力的各种因素,指出了入射粒子能量和基体作用力的性质是影响膜层结合力的重要因素,同时,膜层与界面的形态也强烈地影响到结合力的强弱。据此,从工艺和膜层结构方面提出了增强膜层结合力的方法和措施。关键词:镀膜;针孔;结合力中图分类号:TB43文献标识码:A文章编号:100325060(2008)0420580205Pin2holesandthecoherenceofthefilmoncoatedglassGONGJian2hua,YANGYou2cai,ZHANGYong2s
3、heng(SchoolofMachineryandAutomobileEngineering,HefeiUniversityofTechnology,Hefei230009,China)Abstract:Vacuumcoatingisanimportantaspectofmaterialtreatmentandithassetupalargeindus2try,sothequalitycontrolappearsmoreandmoreimportant.Thefilmqualityofvacuumcoatingre2lates
4、tomanyaspects,suchasstructure,physicalandchemicalproperties,andfunction.AsforthefilmonthelargeareaglassandPMMAbyvacuummagneticsputtering,thepin2holesandtheadher2enceareaninterestingproblem.Inthispaper,onthebasisofthemechanismofpin2holeoccurrence,thewaystoeliminateor
5、decreasepin2holesarediscussedindetail.Theaffectingfactorsofthefilmad2herencearealsoanalyzed.Itispointedoutthattheenergyofincidentparticlesandthepropertyofsubstancestrengthareimportantfactorsaffectingthefilmadherence,andsimultaneouslytheformsofthefilmandinterfaceaffe
6、ctstheadherencestrongly.Themethodandmeasuresforincreasingthead2herenceareputforwardfromtheprocessandstructureofthefilm.Keywords:coating;pin2hole;coherence真空镀膜膜层质量涉及结构、理化及功能等称为针孔。针孔的透过率显然与基片相同,如在方面。而在玻璃、亚克力等透明基片上用磁控溅基片的一侧放置光源,在另一侧可用眼睛直接观射方法大面积沉积的膜层,针孔和结合力是一个察到针孔,并可确定
7、数量和尺寸。如孔太小,由于令人关注的问题,也是比较普遍存在的膜层质量光线的衍射作用,孔的尺寸估算会不准确。由于问题。要严格消除针孔的难度较大,所以作为一种缺陷,允许它存在一定的数量。从检测标准来讲,一般1针孔是规定一定尺寸的基片,其中间主要部分应无针针孔,是一种最直观的缺陷。它是没有沉积孔或存在极少量,边缘次要部分可以稍多一些,从上膜层的地方,通常线度较小,从微米到毫米,故针孔尺寸来讲,也是尺寸大的允许的较少,并有上收稿日期:2007203213;修改日期:2007204220作者简介:龚建华(1945-),男,黑龙江富锦人,
8、合肥工业大学教授,硕士生导师.©1994-2008ChinaAcademicJournalElectronicPublishingHouse.Allrightsreserved.http://www.cnki.net第4期龚建华,等:镀膜玻璃膜层的针孔和结合力581限,而尺寸
