镀膜玻璃的生产工艺和膜层性能的研究

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1、r√l王春华指导教师王亮职称学位授予单位教授大连海事大学申请学位级别工学硕士学科与专业材料科学与工程～。—、、：论文完成日期2011．06．15论文答辩日期答辩委员会主席豸jp、‘’≮争≮／7r』WangChunhua(MaterialsScienceandEngineering)DissertationSupervisor：ProfessorLiangWangJune2011■。-■。，≯．每大连海事大学学位论文原创性声明和使用授权说明原创性声明本人郑重声明：本论文是在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果，撰写成博士／硕士

2、学位论文．==篮腿夔璃鲍生芒王苎塑堪屋蛙能的巫塞：：。除论文中已经注明引用的内容外，对论文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本论文中不包含任何未加明确注明的其他个人或集体已经公开发表或未公开发表的成果。本声明的法律责任由本人承担。擎位论文作者签名：．至趟学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“大连海事大学研究生学位论文提交、版权使用管理办法”，同意大连海事大学保留并向国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权大连海事大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入

3、有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。保密口，在——年解密后适用本授权书。本学位论文属于：保密口不保密玉请在以上方框内打“√")论文作者签名：五瓣导师签名：弓／∥日期：。合觇，年，月研日五；-I一气争▲。，I‘气译中文摘要摘要科技的发展使世界能源危机日渐显露，人类也越来越重视节约能源，开始探索新的节能方式。在人类生产的很大空间中，建筑物需具备隔热保温和采光两大功能。而(Low-E)玻璃，具有极高的节能效果，符合当今低碳生活的要求。本论文主要讲的是采用磁控溅射(PVD)的方法，在大面积平板玻璃上沉

4、积数层金属、金属氮化物或氧化物薄膜，组成为阳光控制薄膜和低辐射薄膜，以此来．对平板玻璃进行表面改性的深加工。根据膜系结构和颜色，在正式生产前以膜系的颜色、光学参数和表面辐射率等作为目标值，通过调试来确定其生产工艺参数后进行正式生产。对于生产后的镀膜玻璃，主要利用AFM(SPl3800N)、分光光度计、肛辐射计等进行测量、分析，用研磨试验，酸碱试验，耐氧化试验对镀膜玻璃的光热性能及薄膜表面形貌进行深入研究。所得结论如下：(1)--种膜系结构中，KR22(热反射)的生产工艺较简单，容易控制；Super-l(可钢单银Low．E)的生产工

5、艺调试方面基本很完善了；CEDl2-46(双银Low．E)的膜层较多，结构复杂，工艺调试较难，但是企业己根据自己的镀膜线设备特点找到了一些规律，生产工艺正在逐步改进中。(2)从物理化学性能方面，KR22的耐酸碱耐磨性能比Super-1和CEDl2-46的性能好，所以不用合成中空，可以单片使用；而Super-1由于表面膜层也镀了硅的氧化物，可以在高温下烧制，从而变成钢化Low-E玻璃，也因其独特的性能，使得生产后的镀膜大板原片能异地加工，极大地提高了生产效率。(3)从光热性能来讲，在可见光区域，它们的透过率和玻面、膜面反射率都呈现不

6、同的变化曲线。Super-I在可见光区域有很高的透过率，说明具有高透性：而KR22由于透过率低，极大地减少了室外阳光的透过，从而调节了太阳光进入室内的多少，但由于没功能银层而不具有低辐射功能，K值较大；CEDl2-46作为一种双银膜系，具有双功能调节的优异性能，节能效果非常明显。关键词：磁控溅射；低辐射薄膜；热反射薄膜；膜层性能I表面形貌√{1t’英文摘要ABSTRACTWitlltherapiddevelopmentofscienceandtechnology,worldenergycrisisexposedincreasing

7、ly．Peoplebegantopaymoreandmoreattentiononenergy-saving，andexplorenewenergy-savingway．Buildingshouldpossesstwobigfunctions(adiabaticandlighting)inthelargespaceofhumanproduction．Lowradiation(10w-e)glasshashi【ghenergysavingeffect，whichmeetstheneedsofwithtoday'slowcarbonl

8、iferequirement．ThispaperismainlyabouttheuseofmagnetronsputteringO'VD)method．alargeareaofflatglassinthenumberoflayersdeposite