多功能防油污减反膜的研制-论文.pdf

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1、第43卷第8期光子学报Vo1．43No．82014年8月ACTAPH0T0NICASINICAAugust2014doi：10．3788／gzXb2O1443O8．0831001多功能防油污减反膜的研制付秀华，吴冠岐，刘冬梅，寇洋，韩放(长春理工大学光电工程学院，长春130022)摘要：为了改善光学镜头表面的耐污染性，选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO。做为中、高、低折射率镀膜材料．借助TFCalc软件进行膜系设计，采用离子源辅助沉积的方法，通过电子柬真空镀膜设备进行制

2、备．对比实验发现，不同的真空度环境以及不同的膜层厚度，对于薄膜的防油污性能的影响有所差异．通过对防油污性能的测试，不断优化沉积工艺参量，获得了在350～700nm波段平均理论反射率小于1的宽带减反射膜．该薄膜具有憎水憎油抗污染能力，牢固度好，抗辐射能力强，可应用于军事、医疗、民用等各个领域．关键词：光学薄膜；防油污；宽带减反膜；离子源辅助沉积；抗辐射中图分类号：0484文献标识码：A文章编号：1004—4213(2014)08—0831001—5FabricationofMultifunctionAnti—

3、oilAntireflectionCoatingsFUXiu—hua，WUGuan—qi，LIUDong—mei，KOUYang，HANFang(SchoolofO户foezc￡r0fEngineering，ChangchunUniversityofScienceandThchnology，Changchun130022，China)Abstract：Inordertoimprovethecontaminationresistanceofopticallenssurface，thenewanti—oilfl

4、uorinemateria1whichcontainsorganicindium-tinoxide，thinfilmmaterial，TiAlalloysandSiO，werechosenascoatingmaterials．FilmsystemwasdesignedbytheaidofTF_Calcsoftware．Thefilmswerepreparedbyvacuumcoatingequipmentandionbeamassistdeposition．Theresultsofexperimentssh

5、owedthatindifferentvacuumdegreeanddifferentfilmthicknesstheperformanceofanti—oilalsodifferent．Thefunctionalofanti-oi1weretestedthroughexperimentsandtheprocessparametersofdepositionwereconstantlyoptimized．Theaveragereflectivityofthebroadbandantireflectionco

6、atingisbelow1overthewavelengthrangefrom350to700nm．Thefilmishydrophobic，oleophobic，antifouling，andhashighfirmnessandradiationprotectionability，whichcanbeusedinvariousfieldssuchasmilitary，medicalandcivilian．Keywords：Thinfilms；Anti-oil；Broadband；Ionbeamassist

7、eddeposition；RadiationhardenedoCISCodes：310．1210；310．1860；310．4165；310．6805含氟辛基硅烷系列有机材料对于改善光学玻璃表0引言面的抗油污、憎水以及防划伤性能有着优异的效果．2O光学仪器镜头在使用过程中很容易被污染，例如世纪80年代，日本就已经开始了这种新型多功能薄膜摄影摄像时暴露在大气中的镜头易沾上人的指纹以及的研究工作口]，2O世纪9O年代末我国宝山钢铁公司水滴，污染痕迹很难彻底清除；医疗中临床上使用的内率先引进并开发耐指纹防油污钢板

8、，由树脂与SiO2纳窥镜，很容易被污染影响医生作业]．在军用上，光学米填料的有机溶液制成[3]，多用于工业及家电的生产．镜头作为暴露在大气中的窗口，更应具备承受雨雪等随着技术的发展，防油污制备技术不仅衍射到了各行各种恶劣天气环境的能力和提高表面的抗污染能力．各业，在制备材料方面也产生了巨大变化．在工业生产基金项目：国家自然科学基金(No．60977052)、省部产学研结合项目(No．2010A090200006)