SiO2TiO2基片减反膜系的制备研究.pdf

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1、Si02／Ti02／基片减反膜系的制备研究ResearchongrowthtechnicsofSi02／Ti02／substrateanti．-reflectivecoatingsystem作者姓名王盛差学位类型堂厦亟±学科专业：邀电王堂皇固佳皇王堂研究方向塞盛皇蹬逡让量王苎拉丕导师及职称值瞳雄麴援2011年3月主席：柯翱毪彳融易极设委弦编以彳产今。有系三确趴天别孜绠导师：彳币忡似张履知，除了文中特别加以标志和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得盒胆王些盔堂或其他教育机构的学位或证

2、书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签字：壬燕旦签字日期：学位论文版权使用授权书2011年年月2‘日本学位论文作者完全了解金月巴王些盔堂有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅或借阅。本人授权金目曼王些态堂可以将学位论文的全部或部分论文内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文者签名：少藩重签字日期：201

3、1年肛月．冶日，学位论文作者毕业后去向：工作单位：通讯地址：导师签名；何啡签字日期：2011年呼月电话：邮编：础上重点研究了其制备工艺。以玻璃为基底进行减反射薄膜的膜系设计，并且对Si02、Ti02单层膜的制备工艺进行了大量的实验研究，确定了最佳工艺参数。论文首先介绍了减反射薄膜的应用，并结合其发展现状对其未来发展方向进行展望。目前我国光学薄膜优化设计工作还处于探索阶段，光学薄膜的设计是薄膜技术发展的一个基础环节。在减反射薄膜的设计中，作者从薄膜减反射原理和光学薄膜电磁场理论出发，利用MATLAB得出减反射膜系的设计结

4、果及反射率特性曲线。理论透过率在可见光波长范围内可以达到99％以上，并根据优化的理论膜系进行了样品膜系的制备。根据优化结果，选用折射率为1．52的玻璃为基底，并采用磁控溅射方法制各了Si02／Ti02膜系，并分别研究了沉积工艺参数对单层Si02和Ti02薄膜光学性能的影响。在磁控溅射工艺研究时，分别分析了工作真空度、氧气含量、退火温度等工艺参数对薄膜的光学性能及结构的影响。分析结果表明氧气含量对Ti02薄膜的折射率影响很大，制各Ti02薄膜的反应气体和工作气体02／Ar比为1／5时，可制备出折射率符合设计要求的Ti02

5、薄膜。另外工作真空度、退火温度也都是薄膜光学性能的重要影响因素。最后，测量了单层Si02和Ti02薄膜的折射率，用分光光度计测量了薄膜的透过率光谱曲线，薄膜的表面形貌由原子力显微镜进行分析，物相分析由X射线衍射仪进行分析。检测结果进一步验证了各工艺参数对减反射薄膜光学性能的影响。关键词：减反射薄膜优化设计磁控溅射工艺研究theantireflectionfilmismostimportantkingofopticalthinfilm．Inthispaper'wefocusonantirefiectionfilm’Sgr

6、owthtechnicswhichisbasedonitsoptimizationdesign．Theantireflectioncoatingsbasedonglassweredesignedbyacomputerprogram．GrowthparametersonmonolayerSi02andTi02coatingswerestudied，andfixonbest．Infirstpartofpaper,theapplicationanddevelopstatusofantireflectioncoatingswe

7、reanalysed．Atpresent，theworkofopticalthinfilmoptimaldesignisstillinexplorationinourcountry,anddesignofopticalthinfilmisabaseforprogressoffilmtechnology．Indesignofantireflectioncoatingsystem，accordingtotheoryofantireflectionandopticalthinfilmelectromagneticfieldt

8、heory,ithadbeengivenalldesignresultsofantireflectioncoatingsandcorrespondingreflectivitycharacteristiccurves，usingMATLAB．Itstheoreticaltransmittancecoulduniversallyro