工业制备SiO2SiNx双层减反膜及对其膜层结构的研究

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1、文妻京交专业硕士学位论文工业制备SiO。-SiNx双层减反膜及对其膜层结构的研究TheresearchOilindustrialpreparationofSiOz—SiNxdoublelayerantireflectivecoatinganditsfilmstructure作者姓名：罗滨导师：徐叙珞院士北京交通大学2013年6月学位论文版权使用授权书一IyIIIIl2IIIII鲤111111ZIIl9IIII丝lUll—删本学位论文作者完全了解北京交通大学有关保留、使用学位论文的规定。特授权北京交通大学可以

2、将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，提供阅览服务，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阕。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。(保密的学位论文在解密后适用本授权说明)学位论文作者签名：罗瘼签字日期：弘l弓年‘月z口日导师签名：中图分类号：TM914．4UDC：北京学校代码：10004密级：公开交通大学专业硕士学位论文工业制备SiO：-SiNx双层减反膜及对其膜层结构的研究TheresearchonindustrialpreparationofSi02一SiNx

3、doublelayerantireflectivecoatinganditsfilmstructure作者姓名：罗滨导师姓名：徐叙珞学号：11125765职称：院士工程领域：太阳能电池学位级别：硕士北京交通大学2013年6月致谢本论文的工作是在我的导师徐叙珞院士的悉心指导下完成的，徐院士严谨的治学态度和科学的工作方法给了我莫大的帮助和影响。在此衷心感谢两年来徐院士对我的关心和指导。徐征教授悉心指导我完成了产线上的科研工作，不仅在学习上还是生活上都给予我极大的关心和帮助，在我遇到疑惑时耐心的为我指点迷津，鼓励

4、我不懈奋斗，在此向徐征教授表示衷心的谢意。赵谡玲教授、张福俊教授对于我的科研工作和论文都提出了许多的宝贵意见，在此表示衷心的感谢。在天长吉阳基地工作及撰写论文期间，康丽雯、管甜甜、胡子琦、冯丽彬、贺强同学，田鹏婵、姜玉晶、陈金礼等产线同事对我论文中的各项研究工作给予了热情帮助，在此向他们表达我的感激之情。本论文是在北京交通大学太阳能研究所和北京吉阳技术股份有限公司光伏研究院的支持下完成的。北京吉阳技术股份有限公司给了我们提供了良好的实习环境和实习条件，单位领导郭玉林总监、胡盛华总工程师、田玉华经理作为我们在

5、实习单位的职业导师给了我悉心的指导和关怀，帮助我培养了工作的责任感、和做人做事的正确态度，向他们表示衷心的谢意。另外也感谢我的父母，他们的理解和支持使我能够在学校专心完成我的学业。最后也感谢由973项目(2010CB327704)、教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET一10—0220)、中央高校基本科研业务费专项资金(2012JBZ001)、国家科学基金(60978060)、国家自然科学基金(10974013)、教育部博士点基金(2009000911027)、北京市自然科学基金(1102028)、国家杰出

6、青年科学基金(60825407)、北京市科委(Z090803044009001)等基金对本论文的赞助。史文摘要摘要：中文摘要晶体硅太阳能电池生产企业多使用的减反射技术为PECVD法沉积氮化硅减反射膜。并已在单层氮化硅膜的基础上进一步优化为多层氮化硅减反射膜技术，使这项技术不断成熟。多层氮化硅减反射膜技术虽然有着很好的减反能力，但其较弱的钝化能力一直阻碍着转化效率不能进一步提升。然而，在SiNx膜和Si片之问制备一层较薄的Si02膜，形成Si02一SiNx双层膜的技术不仅可以有效的改进其钝化效果，而且减反射能

7、力依然可观。目前行业内对SiOz-SiNx双层膜技术的研发热度不断升高，部分企业也开始尝试将这种减反技术运用于大规模量产。本文重点研究Si02．SiNx双层减反射膜各层膜的膜厚分配对减反、钝化能力以及电池效率的影响，并从中探索出最优的层厚结构。全文实验分为两部分进行，首先是一系列常规的准备性实验，分别讨论了制膜时反映气体流量比对单层SiNx膜和单层Si02膜质量的影响，确定了当NH3／SiH4气体流量比7：1时制得的SiNx膜和N20／SiH4流量比为16：1时制得的Si02膜综合质量最佳，适合用于制备Si

8、02-SiNx双层膜。最后测试了在这两组特定的气体流量比下，薄膜的沉积时间对膜厚的影响。第二部分的实验是对产线PECVD技术的优化改进，探索了最优转换效率下Si02一SiNx双层减反射膜各层膜的膜厚分配。经实验证明，Si02-SiNx双层减反射膜在减反射能力上略逊于双层SiNx减反射膜，但钝化能力非常优秀。且当SiNx层为70rim，Si02层为15rim时，电池的光电转化效率最高，可达16．7％。比现有使用双层