光栅刻划刀架系统参数对光栅刻线弯曲影响

《光栅刻划刀架系统参数对光栅刻线弯曲影响》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、第34卷第6期长春工业大学学报(自然科学版)Vo1．34No．62013年12月JournalofChangchunUniversityofTechnology(NaturalScienceEdition)Dec．2O13光栅刻划刀架系统参数对光栅刻线弯曲影响冯树龙(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033)摘要：研究了光栅刻划刀架系统结构、重量及其稳定性对光栅性能指标的影响。有限元分析表明，对刻划刀架系统中的刻划刀架进行减重或使刻划刀架系统两侧的重量对称，均可降低光栅刻线弯曲。光栅刻划对比实验结果表

2、明，配重侧有配重块的刻划刀架系统与配重侧无配重块的刻划刀架结构相比，刻线弯曲幅值由91．2nm降低至58．9nm，这与有限元分析结果在趋势上较为一致。关键词：光栅刻划机；刀架系统；刻线弯曲中图分类号：O433．4文献标志码：A文章编号：1674—1374(2013)06—0635—05InfluenceoftheparametersofagratingrulingtoolsystemongratinglinebendFENGShu—long(ChangchunInstituteofOptics，FineMechanics

3、andPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changehun130033，China)Abstract：Influenceofsomeparameterssuchasstructuralsymmetry，weightandstabilityofgratingrulingtoolsystemsongratingqualityisstudied．Wefindthatreducingtheweightofrulingtoolandmakingitsymmetryonbothsidecandecre

4、asethebendofgratinglinewithfiniteelementanalysismethod．Theexperimentalresultsshowthatshowsthatthebendattitudegofrom91．2nmdownto58．9nmwhenthecounterweightisadded，whichisaccordancewiththetheoreticalresults．Keywords：gratingrulingmachine；rulingtoolsystem；bendofline．。

5、引言装星募耋呈衍射光栅在其应用的初期，主要用于实现复光学、天文学、光通讯、信息处理、激光能量调制和色光的色散功能。近年来，随着科技的不断发展，惯性约束激光核聚变等领域也具有着十分广泛的衍射光栅的分束、偏振和相位匹配等光学性能已应用，而且衍射光栅的应用领域正在被不断地收稿日期：2013-09—10基金项目：国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008—1)作者简介：冯树龙(1973一)，男，汉族，辽宁葫芦岛人，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所副研究员，博士，主要从事光学仪器设计、精密机械设计、加工及检测等方面的研究工作

6、，E—mail：topfsl@126．corn．第6期冯树龙：光栅刻划刀架系统参数对光栅刻线弯曲影响639domainfrom2．2to4．3m[J]．AppliedOptics，[11]RGeorgeHarrison．TheDiffractionGrating-An2006，45(21)：5191-5206．OpinionatedAppraisal[J]．AppliedOptics，1973，[8]营建新，冯树龙．一种光栅刻划机刀架等速运动的12(9)：2039-2048．新结构[J]．长春工业大学学报：自然科学版，2

7、012，[12]张亮．立式电解加工机床关键部件有限元分析与33(4)：402—406．优化[D]：[硕士学位论文]．合肥：合肥工业大学，[9]杨德才．中阶梯光栅及其应用[J]．现代科学仪器，2009．1992(4)：29-31．[13]李晓天．机械刻划光栅刻线误差及其修正方法研[1O]唐玉国，陈少杰，巴音贺希格，等．中阶梯光栅光谱究[D]：[博士学位论文]．长春：中国科学院长春光仪的谱图还原与波长标定[J]．光学精密工程，学精密机械与物理研究所，2013．2O10，l8(10)：2卜33．