中阶梯光栅机械刻划工艺参数优化研究.pdf

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1、分类号：卫i1§UDC：—』型一密缴编号中阶梯光栅机械刻划工艺参数优化研究sTuDY0NOPTIMIZATIONOFPROCESSPARAMETERsFORECHELLEGRATINGMECHANICALRULING学位授予单位及代码：挂查翌王盍芏———且盟盟学科专业名称及代码：扭拭蛊9造盈甚且丑业』哩Q2Q也研究方向：擅蜜：趋挂蜜加工L捡型丑苤益申请学位级别：-至吐—土一指导教帅：盎国抠熬控———一研究生：j矗垒垒—一沦文起止时蚓：20lO．9--2011．1．。，．_2长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文．《中阶

2、梯光栅机械刻划工艺参数优化研究》是本人在指导教师的指导下．独立进行研究工作所取得的成果。除文中己经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体．均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：趱址年3月Ⅱ日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论又版权使用规定”．同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论又的复

3、印件和电子版．允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有蓑数据库进行检索．也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：：5115t玺五Q瞳年王月厘日引醒毛规¨』卵摘要光栅机械刻划是用金刚石刻划刀对光栅基底上的金属膜进行挤压、抛光，使其发生形变而形成阶梯状刻槽的过程。针对799／ram中阶梯衍射光栅高精度刻划的要求．本文以直线刃刻划刀为切入点，对光栅机械刻划过程进行深入研究。第一，分析了光栅机械刻划过程中镀膜材料的成形过程，井依据塑性成形理论建立了刻划深度与光栅槽深之间的数学关系模型：第二，借

4、助有限元手段对799／mm中阶梯衍射光栅刻划过程进行模拟仿真，分析刀具参数、安装参数等对光栅槽形形状的影响规律咀及镀膜材料的流动规律：第三，基于正交试验法对刀具参数、安装参数进行优化．提出光栅槽形控制策略：第四．在分析优化的基础上进行刻划刀样刀试制，准备刻划试驻。关键词：机械刻划中阶梯光栅成形机理尖劈刀有限元正交试验优化ABSTRACTGratingmechanicalrulingisaprocessthatextrudingandpolishingofthemetedcomingonthesuhsffatcwithdiamondtoolandfo

5、rmingsteepedgroovesafterdeformationForthehighprecisionrulingof799／ramecbellegratinginthispapeLtakingthechisel—edgeasstartingpointtheprocessoftbegratingmechanicalrulingisstudiedin-depthFirst．theformingprocessofcoatingmaterialduringrulingisanalyzedBasedontheplasticdeformationthe

6、or)一themathematicalmodelbetweengroovedepthandrulingdepthisestablishedSecondwiththefiniteelementmethodtheprocessofthe799／ramecbellegratingrulingissimulatedBesides．theinfluenceofthetoolparametersandinstallationparametersonthegratinggrooveandflowinglawofthecoatingmaterialareanaly

7、zedThirdusingtheor01090nalexperimentalmethod．thetoolparametersandinstallationDaramne“areop{imizedandthecontr01strate93’ofgrooveshapeisproposedFourth．thesamplegraverismanufacturedandrulingtestsareD佗DaredKeywords：mechanicalrulingchisel-edgetoolfiniteelementechellegratingformingm

8、echanismorthogonaltestoptimization目录摘要ABSTRACT目jt⋯⋯⋯⋯⋯⋯．，⋯⋯⋯⋯