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《红外宽波段光栅调频激光器光栅和刻划机》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、红外宽波段光栅调频激光器光栅和刻划机上海分析仪器厂周志康林桂荣店青云等一、概述衍射光橱是夫琅和费在!∀年发明的,以后由罗兰和迈克尔逊加以发展,·目前已成为一,,个重要色散元件在很多地方替代了棱镜色散元件对#。。人以下的紫外光和∃。卜以上的红,。外光至今还没有可透过这些光线的材料来做棱镜%目前批量生产的%∀,,我厂#一∀微米红外分光光度计红外光栅原来靠进口为节约外,。汇我们自己动手搞了红外刻机我厂所要求的红外光栅特点波段范围宽&超过一般经验,。,,,公式∋对能量要求高早期红外分光光度计用两块光栅结构复杂用一块光栅替代后·。收器结构则大大简化、二刻划机
2、对光栅基本要求%(,%,%。。刻划面积∀∀∀∀))#刻线数∗+条,))−使用波段范围#∀一巧傲米,,刻划机主要是由两个运动组成它的主要运动光栅毛坯作何隙进给运动每次移动一个,。刻线间距刻刀在垂直于光秘毛坯的进给方向上作往复刻划和拾刀落刀运动,虽然红外光橱刻机比可见紫外刻机精度有所降低但我们还是认真对付光栅刻机的心丝杆,,,胜其精度要东很高要求能把丝杆的相邻和累积误差起平均分布作用并把误差大,,丝大降低其精度高低直接影响分度精度杆,。研磨后用多光束干涉仪检验、根据红外光姗的刻划特点刻槽深线数、。,,0少刻划力大蜗轮以−+∀+∀+条,)./系,选为列作为
3、基础−+牙比较适合线数少特,点这也是红外刻机与可见紫外刻机之间的较。大差别‘红外光栅刻线,,间距大刻划力较大而滚,,动比较灵敏所以滑座触点形式采用为滑动。图以适合承受力大滑座上导轨平面度均为万10刘机全貌,,死光圈左右导向面条纹方向同导轨一致光洁度!#以上,直线性误差在#2))内达‘’护。。,2#左右刀桥结构如图&−∋对刻划,刀桥由曲栖机来说也是很关键的部分,))中联杆机构传动在刻∗+条,等面积—光栅时,往复运动达∗+++次左右,刀桥」是这样克服振动和磨损的采用滑动形,,,式以减少振动刻刀装在刀桥的中心喊由于刀桥在水平和垂直平面中精度和负荷,有不同要求因
4、而采用了五点结构使导向,刀桥导轨结构是和承重分开的分离导轨,导轨采基于流体动力摩擦原理用了较理,34一5想的氮化钢材料刀桥沿导轨的运动都是,在油膜上进行应用了此原理后事实上完,全消除了摩擦丧面的损耗刻刀装在刀桥图#光橱机示意图,,。。。。%%%的中心其摩擦是对称的可自己补偿0马达#齿轮箱−蜗轮∃丝杆∀螺母∗淆座%上导轨为平面导轨,!。刀桥。导执6。飞轮+。延迟抬刀机构。传动抽刻桥加工检验就’,,,,。方便得多原用玻璃导轨作为导向导轨尺寸狭长加工较困难故改为钢导轨钢导轨加,导向面条纹方向同,,工平面度保证在万1.,7光圈导轨方向一致光洁度在8#以上直线性,
5、3。。误差在#2))内为2#左右红外光栅与可见紫外光栅相比压,重大大加大可见光栅一般只几克左,红#,右外光栅压重达到+多克考,虑刀桥要稳定所以对刀桥结构要加,,固结构采用飞机式三点承重点距,,离要离得开触点聚四氟乙稀摩擦,表面具有曲率半径很大的球形使得图刀桥系统示愈图。运动时刀桥具有良好的稳定性,,,,其次由于刻线规格较多为使结构简单齿轮规格减少利用加长抬刀时间可解决多。,,。种刻线规格问题减重系统原用水银因对身体妨害较大现采用小滑车和减重弹簧、三防震恒温,,。国内外经验证明刻机对周围环境要求非常高对光栅刻划间要求更是相当苛刻温度%%,。应保持在。+1++
6、−℃范围相对湿度不应超过∗+1!+9避震系采用水泥基座和大水泥平,,,板在水泥基座和水泥平板之间加垫各种防震材料如橡皮和海绵等由同济大学测振仪测、。量和乌氏干涉仪泰曼干涉仪测量达到红外光栅刻机防震要求,,,了在解决防震问题的同时要解决温度间题我厂系采用在房间里套小房间小房间由:,,。)三夹板做成夹层在夹层内放置泡沫塑料作为保温层做成相拼小房间在恒温系统士%,,,。∀℃的基础上加上了二层控制在小房间外夹层装上红外加热灯由水银触点温度计控制一∀6一,,在刻机内装上白炽灯抱用铂金敏感元件配上上海自仪二厂生产的控制仪一套控制温度基%%。本达到++1++#℃、%四
7、#∀一∀林宽波段红外光栅,之前先进行对,光栅刻机经过精密仔细装调之后在未刻∗+条,/5∗+条,1光栅的试刻以,,对机器各零件精度和装调进行初步考验同时对机器刻出的光栅进行鬼线实测测量数据如下&二级光谱∋编号罗兰鬼线相对强度∃−∀人喇曼鬼线%%!++#∃9++#9%%!+#+∃9++∀9,。从实测鬼线结果表明完全可以刻划红外光栅,要刻出较理想的光栅除具备精度较,、高的光栅刻划机外还应掌握刻划技术、、正确、刻刀设计调刀技术选择刻划重量符、、合要求的毛坯镀适当厚度的铝膜恒。、温控制等一系列环节至于调刀技术膜图∃衍射光姗的强度分布图、、层毛坯质量要求刻划重量等基
8、本要求,与刻划∀+条,))相似刻划∗
