微型行星齿轮减速机构制造工艺概述

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1、．、机械设计与制造第9期．5综．述1．0，242MachineryDesign&Manufacture2010年9月文章编号：1001—3997(2010)09—0242—02微型行星齿轮减速机构制造工艺概述赵雅珠(上海交通大学国家模具CAD工程研究中心，上海200030)BriefintroductiontothemanufacturingprocessofmicroplanetarygearreducerZHA0Ya-zhu(NationalDie&MouldCADEngineeringResear

2、chCenter，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200030，China)；【摘要】简述了微型行星齿轮减速机构的优点及应用前景，对现阶段微型齿轮的各种制造工艺进；行了分析、比较，介绍了当前国内外微型齿轮机构自动化智能装配、机构润滑等方面的进展，最后阐述了；；微型齿轮在设计、制造、装配工艺等方面的发展趋势。；；关键词：微型齿轮；微型行星齿轮减速机构；LIGA；等温精密成形；半固态成形；EDM；；【Abstract】Theadvantagesandperspectiv

3、eofminiatureplanetarygearreducerarelisted．，；idifferentmethodstofabricatemicro-geararecompared，andthensomenewdevelopmentinthelubricatorj；andassembmethodismentioned．Atlastsometrendsofmicroreduceraboutdesign，lubricating；andassemblingareexpounde&；!oKeywords：

4、Micro-gear；Miniatureplanetarygearreducer；LIGA；Isothermalmicro-forming；i；Semi-solidforming；EDM；。。·。。◆。。◆。。◆o。·。。·o。·。。◆。。◆。。·。。·。。·。。·。。·。。·。。·。c◆。。◆。。◆。。·。。◆。o·。。◆。。◆。。◆。。◆。。◆。。◆。。◆。。◆。o·。。◆。o◆。。◆。。◆o。◆。。◆oo◆。。中图分类号：TH132．41文献标识码：A齿轮成功组装出、减速比为44．2，最大外形直径

5、为2mm的微行星1引言齿轮减速器。一般来说，LIGA有较多技术方面的优势，但是该技随着科学技术的发展和我国工业化进程的加速，未来市场对术的应用需要昂贵的同步辐射光源和x射线掩模，加工周期较于微型化、精密化元器件的需求越来越大。由于微型机械尺度小，长，极大地限制了LIGA和准LIGA技术在产业化方面的应用目。能够到达空间狭小区域进行作业ll，因此在电子设备、医疗器械、微塑性成形技术(Plasticmicroforming)是以塑性变形的方式微型机电等领域都具有广阔的应用前景12,3,。但是，微型马达通常来

6、生产毫米级甚至微米级微型零件的技术，该技术具有材料利用只能够提供较大的转速以及很小的转矩。为了得到实际工况需要率高、生产成本低、成形件质量好、生产效率高等优点，因此近年来的大转矩，微型齿轮减速机构就显得必不可少。获得了较好的发展。超精密机械加工技术是微机械制作过程中较为齿轮减速机构作为一种常见的机械传动机构，具有传递动力常用的工艺技术，同时也堤镞馐国家制造技术水平的重要标志。大、传动效率高、使用寿命长、工作可靠性高以及传动平稳性好等优它采用和传统饥b口工类似的原理，但是由于在微小尺度上加工，因此点，因此

7、在机械传动中得到了广泛的应用。而行星齿轮减速机构对加工设备精度、伺服系统、测量反馈系统、精度补偿等方面要求更由于具有机械结构紧凑、传动比大、可靠性高等优点，并可以避免高。在微型齿轮加工方面，滚齿铣(Self-generatingmilling)是现阶段现阶段微型齿轮机构通过多级定轴轮系传动来得到大传动比而比较成熟的技术，并在钟表产业得到了较为广泛的应用，但是，该工带来的传动效率低下的弊端，具有向微型化方向发展的巨大潜力。艺最大的缺点就是需要专业化、高精度的设备，而且对于设备的投现阶段，世界上各个工业化国

8、家都对微型元件的设计和制造资较大，其它大多产业相对无法承担。各种工艺方法加工的得到领域投入了较大的研发力度。在微型减速机构的研究和产业化应的微型齿轮，如表1所示。微型齿轮制造工艺比较，如表2所示。用方面，德国P,q、日本【1】、美国等国家都走在前列。周内很多大学、研表1各种工艺方法加工的得到的微型齿轮究机构近年来也都开展了相关方面的研究，并取得了一些成果。Tab．1Micro-gearsmanufacturedindiferentways2