tft-lcd器件氧化铟锡层无退火工艺研究

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1、第29卷第1期液晶与显示Vol_29NO．12O14年2月ChineseJourna1ofLiquidCrystalsandDisplaysFeb．2014文章编号：1007—2780(2014)0卜0055—05TFT-LCD器件氧化铟锡层无退火工艺研究张家祥，卢凯，郭建，姜晓辉，崔玉琳，王亮，阎长江，曲连杰，陈旭，闵泰烨，苏顺康(北京京东方光电科技有限公司，北京100176)摘要：对TFT—LCD器件氧化铟锡(IT())层无退火新工艺进行了深入研究，通过将氧化铟锡相变与聚酰亚胺(PI)膜固化过程同步进行，简化了工艺过程，节约了生产成本。采用无退火T艺氧化铟锡膜层

2、的平均电阻值和膜层透过率与传统高温退火T艺下基本相同，可以实现低的电阻值和高的透过率。无退火丁艺下PI膜表面平整均匀，氧化铟锡膜与PI膜界面结合良好，无鼓包、麻点等，也没有反应产物生成；经过TFT特性测试发现，无退火工艺比高温退火T艺条件下，无论暗态还是光照状态，开电流没有明显区别，漏电流可降低44；通过无退火丁艺和传统高温退火_[艺制备的液晶显示屏的V—T特性相同。关键词：无退火工艺；透过率；氧化铟锡层；TFT特性中图分类号：TN141．9文献标识码：Adoi：10．3788／YJYXS2O142901．0055AnnealskipofITOlayerinTFT—

3、LCDZHANGJia—xiang，IUKai，GUOJian，JIANGXiao—hui，CUIYu—lin，WANGLiang，YANChang—jiang，QuLian—jie，CHENXu，MINTai—ye，SUShun—kang(BeijingBOE00gZPcfrocsTechnologyCo．，Ltd．，Beijing100176，China)Abstract：ThispapermakesadeepresearchonthenewtechnologyofannealskipprocessfortheTFT—LCDdevice．Theannealski

4、pprocesscansimplifytheprocessanddecreasethecostofproductionbythesynchronizationofITOtransformationandPIfilmcuring．Usingtheannealskipprocess，theaverageresistanceofITOlayerandthetransmittanceofthefilmwerethesameasthatofthetradi—tionalhightemperatureannealprocess．Alowresistanceandahightra

5、nsmittancecouldberealized．ThesurfaceofPIfilmwassmooth．TherewasagoodinterfacebetweentheITOlayerandthePIfilm；nodrumkit，pitsandreactionproductsappeared．Atdarkorphotostate，。ofTFTusingtheannealskipprocesswasthesameasthatusingthehightemperatureprocess，butIo“hadadecreaseby44．TheV—Tcharacteris

6、ticofpanelusingtheannealskipprocessandthehightemperatureannealprocesswerethesame．Keywords：annealskip；transmittance；ITO1ayer；TFTcharacteristic收稿日期：2013-02—21；修订日期：2013—0322．*通信联系人，E—mail：zhangjiaxiang@hoe．corn．cn液晶与显示第29卷别对高温退火工艺和无退火工艺下制作完成的模1引，言组进行T测试。薄膜晶体管液晶显示器(TFT—ICD)具有重3实验结果以及讨论与分析

7、量轻、厚度薄、工作电压低和功耗小等优点，被广泛应用于手机、电视、仪器仪表和工业控制等设备3．1无退火对氧化铟锡层电阻的影响上，成为目前平板显示的主流ulj。氧化铟锡对高温退火和无退火2种工艺条件下的氧化(IT())具有良好的导电性(<100a／口)和高的光铟锡层电阻进行了测试，测试结果如图1所示。学透过率(约9o)Ea-5~，因此作为透明电极被广泛应用在TFT—ICD器件中，成为不可或缺的一部分。]。在氧化铟锡制备过程中，首先通过磁控溅射方式在薄膜晶体管基板上形成一层特定厚度的氧化铟锡层，此时该氧化铟锡结晶状态大多数为非晶态，电阻较高，需要通过后续的退火设备进a