铟锡氧化物纳米粉体的制备方法及分散的研究进展-论文.pdf

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1、第32卷第4期粉末冶金技术V01．32．No．42014年8月PowderMetallurgyTechnologyAug．2014铟锡氧化物纳米粉体的制备方法及分散的研究进展蔡晓兰彭刚一胡翠(昆明理工大学冶金与能源工程学院，昆明650093)摘要：铟锡氧化物(ITO)纳米粉体具有粒径小、比表面积大、分散性好、杂质少的特点，是制备性能良好的ITO薄膜的原料。本文介绍了目前ITO纳米粉体的制备方法如：喷雾燃烧法、溶胶一凝胶法、水热合成法、化学液相共沉淀法、喷雾热解法、电解法和机械研磨法、燃烧合成法等，分析了不同制备方法的原理、优缺点及团聚的原因，提出了解决ITO粉体制备中团

2、聚的方法，并对ITO纳米粉体制备的研究进行了展望。关键词：ITO纳米粉体；制备方法；团聚；分散TheResearchProgressofPreparationandDispersionofIndiumTinOxideNano-powderCaiXiaolan，PengGang，HuCui(FacultyofMetallurgicalandEnergyEngineering，KunmingUniversityofScienceandTechnology，YunNanKunming650093，China)Abstract：TheIndiumTinOxidenanomete

3、rpowderwithsmallparticlesize，superspecificsurfacearea，gooddispersionperformanceandlessimpurityisthematerialtoproducegoodperformanceITOthinfilm．Inthispaper，themethodsofpreparationofITOnano—powderareintroducedatpresent，suchasatomizing—combustionmethod，sol—geltechnique，hydrothermalmethod，CO

4、—precipitationmethodetcaresummarized．Differentpreparationmethods，advantagesanddisadvantagesandthecauseofthereunionareanalyzed，thesolutiontotheproblemofreunionduringtheITOpowderpreparationisputforwardandthepreparationresearchofITOpowderisprospected．Keywords：ITOnano—powder，preparationmetho

5、d，agglomeration，dispersion铟锡氧化物(IndiumTinOxide，简称ITO)是一控溅射法获得。获得性能优异的ITO透明导电薄种N型半导体材料，具有低电阻率、高可见光透射膜，主要取决于靶材质量的好坏，而获得均匀性好且率，并对红外光、紫外线和微波都有吸收或反射作密度高的靶材则要求ITO纳米粉体比表面积大、分用⋯，用ITO纳米粉体通过直流磁控溅射制成的散性好、杂质少、粒径小且分布范围较小。随着ITITO薄膜硬度高，具有良好的化学稳定性、刻蚀性能行业的快速发展，应用于笔记本电脑、手机、电视等以及半导体特性等许多优点，被广泛应用于液晶显各种新型液晶显

6、示器的ITO靶材用量急剧增加，这示器、太阳能电池、隔热玻璃、气体传感器等很多领将为ITO纳米粉体提供很大的市场。然而高质量的域。ITO材料通常包括ITO粉体、ITO靶材和ITOITO纳米粉体主要产于国外，所以研究ITO纳米粉透明导电薄膜。ITO透明导电薄膜一般是将ITO纳体的制备方法制备出高质量的ITO纳米粉体非常有米粉体压制成型并烧结成靶材，最后再采用直流磁必要通信作者：蔡晓兰，教授。E—mail：cx19761@163．com}彭刚(1988一)，男，硕士。E-mail：1761187797@qq．COB收稿日期：2013—11—29第32卷第4期蔡晓兰等：铟锡氧化

7、物纳米粉体的制备方法及分散的研究进展291ITO纳米粉体是制备ITO纳米薄膜的原料，所产，在整个过程中没有加入任何其它物质，所以产品以ITO纳米粉体质量的好坏将直接影响到最终产品纯度高，环境污染小，因为铟和锡都是熔点较低的金的质量，为制备出高质量的ITO纳米粉体，国内外研属，且金属熔体与氧的反应都是放热反应，所以该方究者做了大量的研究，主要围绕着制备出粒径小分法能耗低。但该工艺所需设备特殊且昂贵，操作复布均匀且杂质少的方向研究，探索出了制备ITO纳杂而不成熟，且存在颗粒大小不均的问题。米粉体的各种方法，主要有喷雾燃烧法、溶胶一凝胶陈世柱，