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1、第13卷第23期精细与专用化学品Vol.13,No.232005年12月6日FineandSpecialtyChemicals·1·专论与综述我国电子化学品的现状与发展前景＊吴坚张诚(无锡市化工研究设计院有限公司,江苏无锡214031)摘要:综述了我国光刻胶、FPD专用化学品、印刷电路板材料、高纯试剂、电子特种气体和封装材料的生产和应用现状,目前我国能工业化生产或批量生产的电子化学品近1000种。我国电子化学品行业近年来的发展并不平衡,“短缺”是当前市场最根本的特征。预计2010年我国电子化学品的市场规模将超过200亿元,将成为全球电子化学品潜在的大市场。关键词:聚酰亚胺;高纯金
2、属有机化合物;液晶;湿法化学品StatusandTrendsofElectronicChemicalsinChinaWUJian,ZHANGCheng(WuxiChemicalIndustryResearch＆DesignInstituteCo.,Ltd.,Wuxi214031,China)Abstract:Theproductionandapplicationofphotoresist,specialtychemicalsforflatpaneldisplay,printedcircuitboardmaterial,high-purityreagent,specialtygas
3、andpackagingmaterialinChinaweresummarized.Atpresent,1000e-lectronicchemicalscanbeproducedinChinaincommercialscaleorinbatches.Electronicchemicalindustrydevelopedlopsidedlyinrecentyears,shortageinsupplyisthemaincharacterinthecurrentmarket.Itisforecastedthatin2010themarketsizeofelectronicchemica
4、lsinChinawouldbeoverRMB20billionandwouldbecomeapotentialgreatmarketoftheworld'selectronicchemicals.Keywords:polyimide;high-puritymetallorganiccompound;liquidcrystal;wetchemicals20世纪90年代以来,信息技术越来越受到重最具活力的行业之一。视,发展速度之快超出了人们的预料。与之相配套的1现状电子化学品的世界年均增长率保持在8%以上,是化工行业中发展最快的领域。预计2005年世界电子化电子化学品的特点之一是品
5、种繁多,较大的类别学品市场规模将超过300亿美元。有光刻胶、平板显示器(FlatPanelDisplay,FPD)专用与世界水平相比,我国电子化学品虽近年来发展化学品、印刷电路板材料、高纯试剂、电子特种气体、也较快,但总体水平还较落后。在目前全世界信息产封装材料等,我国能工业化生产或能提供批量生产的业的市场规模已突破2万亿美元的大背景下,“十品种近1000种。五”期间我国信息产品制造业的年均增长率超过了1.1光刻胶20%,受此影响,电子化学品的年均增长率也超过目前集成电路制造工艺中采用的主流技术是紫20%。预计到2010年,我国的电子化学品市场规模外线和深紫外线(即g线、i线、2
6、48nm)为光源的光刻将超过200亿元,将成为化工行业中发展速度最快、技术。随着集成电路线宽不断缩小,光刻技术的发展＊收稿日期:2005-10-31作者简介:吴坚(1959-),女,中国电子材料行业协会精细化工与高分子材料分会秘书长,全国电子化工材料信息站副站长。已公开发表文章多篇。·2·精细与专用化学品第13卷第23期趋势为:g线(436nm)※i线(365nm)※248nm※州瑞红电子化学品公司和北京化学试剂研究所,无锡193nm※EUV(157nm),与之对应的是各类光刻胶的市化工研究设计院有限公司能少量提供电子束光刻不断开发和生产。胶及其它一些特种光刻胶,其它光刻胶产品全
7、部依赖近年来,国外248nm光刻胶已进入生产实用阶进口。我国光刻胶使用品种体系见表2。段,线宽已达0.25μm,用于256M动态随机存储器的表1国际著名光刻胶生产公司生产;193nm光刻胶成膜树脂的研究已进入实用阶公司名称国别2002年世界市场份额/%段,分辨率可达0.15μm左右,可以满足1G随机存储东京日化日本27.0器的要求,并已有成熟的产品在4G集成电路制作中合成橡胶日本16.0使用;157nm光刻胶是近年光刻胶研究的热点,有可Sumitomo日本9.8能在纳米级集成电路
