T∕ZZB 0639-2018 氧化锌铝磁控溅射靶材.pdf

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1、ICS81.060.30H72ZZB浙江制造团体标准T/ZZB0639—2018氧化锌铝磁控溅射靶材AlumiumdopedzincoxidemagnetronsputteringtargetsZHEJIANGMADE2018-10-19发布2018-11-01实施浙江省品牌建设联合会发布T/ZZB0639—2018目次前言................................................................................II1范围..............................

2、................................................12规范性引用文件....................................................................13术语和定义........................................................................14基本要求....................................................................

3、......15技术要求..........................................................................26试验方法..........................................................................47检验规则..........................................................................58标志、包装、运输和贮存...................

4、.........................................69质量承诺..........................................................................7附录A（规范性附录）氧化锌铝靶材失氧率测定方法......................................8ZHEJIANGMADEIT/ZZB0639—2018前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口。本标准由宁波市标准化研究院牵头组织制定。

5、本标准主要起草单位：宁波森利电子材料有限公司。本标准参与起草单位：宁波市标准化研究院、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、国标（北京）认证有限公司、汉能装备科技集团有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司（排名不分先后）。本标准主要起草人：杨晔、周山山、何伟、兰品军、朱永明、李翔、宋伟杰、李勇、马通达、杨立红、宋云娜、张凤戈。本标准由宁波市标准化研究院负责解释。ZHEJIANGMADEII学兔兔www.bzfxw.comT/ZZB0639—2018氧化锌铝磁控溅射靶材1范围本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检

6、验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志（GB/T191—2008，ISO780：1997，MOD）GB/T1031产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值GB/T1410固体绝缘材料体积电阻率和

7、表面电阻率试验方法（GB/T1410—2006，IEC60093：1980，IDT）GB/T6394金属平均晶粒度测定方法GB/T7234产品几何量技术规范(GPS)圆度测量术语、定义及参数GB/T7235产品几何量技术规范(GPS)评定圆度误差的方法半径变化量测量GB/T8651金属板材超声板波探伤方法GB/T11336直线度误差检测GB/T11337平面度误差检测GB/T11942彩色建筑材料色度测量方法GB/T12969.1钛及钛合金管材超声波探伤方法GB/T13298金属显微组织检验方法GB/T20967无损检测目视检测总则GB/T23768

8、无机化工产品火焰原子吸收光谱法通则GB/T25995精细陶瓷密度和显气孔率试验方法（GB/T25995—20