溶胶—凝胶法制备掺铝氧化锌靶材研究.pdf

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1、ClassifiUDC：PrMay，2011西华大学学位论文独创性声明作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用内容和致谢的地方外，本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果，也不包含其他已申请学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。若有不实之处，本人愿意承担相关法律责任。学位论文作者签名：彦．7办。日期：7／"11．莎·，D指导教师签名：翻勇(／垒幸蒜戍夕日期：知ff．‘·，口西华大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留

2、、使用学位论文的规定，在校攻读学位期间论文工作的知识产权属于西华大学，同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅，西华大学可以将本论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复印手段保存和汇编本学位论文。(保密的论文在解密后遵守此规定)学位论文作者签名：彳·7众指导教师签名：姗勇∽蔓乳尊戊)Et期：凇，z多．，口Et期：知ff．<．10西华大学硕士学位论文摘要AZO(掺铝氧化锌，A1-ZnO)靶材质量是影响溅射法制备薄膜的关键因素之一。AZO靶材主要制备工艺有常压烧结、热等静压烧结及真空烧结等。热等静压烧结

3、、真空烧结两种工艺制备出的靶材性能较好，但靶材形状及尺寸受限且工艺复杂、生产成本高、效率低。采用溶胶．凝胶工艺有利于得到成分均匀、颗粒形态和粒径等可控的掺铝氧化锌复合粉体，并可采用无机盐作为原料以降低成本，因此有较高的推广应用价值。本文采用溶胶．凝胶法合成了掺铝氧化锌复合粉体，用常压烧结制备出电阻率较低、致密度较高的AZO靶材。研究了络合剂种类及用量、反应温度、pH值、干燥温度等因素对粉体形态及靶材性能的影响，分析了球磨及烧结制度对靶材微观组织的作用，与固相反应法制备的靶材进行了对比。结果表明，控制溶胶二凝胶的制备工艺参数可以得到烧结性能良好的粉体，湿法球磨能减少粉体团

4、聚，提高靶材密度；随成型压力提高靶材致密度先升后降，电阻率变化则相反；增加烧结保温时间，晶粒尺寸变大，致密度提高缓慢，电阻率变化较小；采用2MPa成型压力，在1250"C烧结lh，可以得到致密度达99．2％，电阻率约2×10七Q·cm的靶材。关键词：AZO靶材；溶胶．凝胶法；致密度；电阻率溶胶一凝胶法制备掺铝氧化锌靶材研究AbstractTheperformanceofAZO(aluminumdopedzincoxides，A1-ZnO)targetsisoneoftheimportantfactorswhmhaffetsthepropertiesofthinfilms

5、preparedbYmagnetronsputteredmethod．Pressurelesssintering，hotisostaticpressingsinteringandvacuumsinteringarethemainmethodsforpreparationofAZOtargets．AZOtargetspreparedwithhotisostaticpressingsinteringmethodandvacuumsinteringmethodhavebetterperformance，butthesizeandshapeofthesestargetshave

6、beenlimited,andthecomplexprocessingleadslowerefficiencyandhigherproductioncost．Aluminumdopedzincoxidespowderpreparedsol-gelmethodhasbetteruniformityofcomposition,bettercontrollabilityofshapeandsize，andevenlowerproductioncostbyusinginorganicmaterials，thereforeithashighapplicablevalue．Inth

7、ispaper,aluminumdopedzincoxidespowdershasbeensynthesizedbysol—gelmethodandAZOtargetwithlowresistivityandhighrelativedensitypreparedbypressurelesssinteringroute，effectsofcomplexingagent，reactiontemperature，pHvalueanddryingtemperatureonthemorphologyofpowder,effectsofballmil