LaNiO3周期薄膜的制备及薄膜铁电性能研究.pdf

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1、第22卷第6期化学研究与应用Vo1．22，No．62010年6月ChemicalResearchandApplicationJun．．201O文章编号：1004—1656(2010)06-0786-04高度(100)取向的Bao．8Sr0．2TiO3／LaNiO3周期薄膜的制备及薄膜铁电性能研究杨隽，余萍(四川大学材料科学与工程学院，四川成都610064)关键词：多层膜；钛酸锶钡薄膜；铁电性中图分类号：0657．15文献标识码：APreparationandferroelectricpropertyofthehighly(100)-orient

2、edBaoSroTiO3／LaNiO3multilayerfilms．8．2YANGJun．YUPing’(CoHegeofMaterialsScienceandEngineering，SichuanUniversity，Chengdu，Sichuan，610064，China)Abstract：Highly(1OO)一orientedBao．8Sro．2TiO3／LaNi03muhilayerfilmshavebeenpreparedONdiferentsubstratesbychemicMsolutiondeposition．Themicr

3、ostructure，interface，thicknessandmorphologieswerecharacterizedbyXRD，FESEMandAFMtechniques，respectively．Theresultsrevealthatthemuhilayerfilmsdisplaysatisfiedmierostructure，clearinterface，smoothSurfaceanddensestructure，especially，theorientationfactorofthe4一periodmuhilayerfilms

4、canbe0．92fromXRDdataandthethicknessisabout500nm．Theannexingprocessingplaysanimportantroleontheferroelectriepropertyofhighly(100)一orientedmuhilayerfilms．Keywords：muhilayerfilms；BaoSr0TiO3thinfilm；ferroelectricproperty．8．2近年来，多层铁电薄膜的研究越来越引人注化学溶液沉积工艺在功能薄膜的制备中同样目。由于薄膜的电学性能受界面耦合和

5、层与层间日益受到重视。其特点是采用化学溶液的途径合相互作用影响很大，因此，通过多层膜的构造引人成目标产物的前驱溶液，通过浸渍、提拉、喷涂或界面，可显著调节铁电材料的电学性能。预计，层旋涂的方式将前驱溶液沉积在衬底上，经退火处与层问不同化合物的一种适当组合能改善薄膜的理后得到所需要的功能薄膜。利用该方法制备的功能性质，甚至有可能形成新的功能¨剖。相关研薄膜具有化学计量比可控，薄膜形状可多样化的究表明，不同化合物多层膜设计会是改善薄膜电特点。更重要的是利用化学溶液沉积工艺制备功学性能的有效方法。此外，薄膜的合成和铁电性能薄膜反应条件温和，设备成本低

6、，更易于获得大还受到晶化、取向等因素的影响]。其中，取向对面积薄膜。改善电学性能起着重要作用¨⋯。本文采用化学溶液途径合成了BaSr0．TiO3收稿日期：2009．12-29：修回日期：2010-03．04基金项目：国家自然科学基金委员会(u0837605)项目资助；教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-07-0590)项目资助；四川省应用基础研究(2008JY0039)项目资助联系人简介：余萍(1968-)，女，教授，主要从事材料物理与化学研究。Email：yuping518@gmail．corn第6期杨隽等：高度(100)取向的B￡L

7、o。SroTiO3／LaNiO3周期薄膜的制备及薄膜铁电性能研究787(BST)、LaNiO(LNO)前驱液，利用化学溶液沉积得到0．03mo1．L黄色BST前驱液。工艺中的旋涂技术在不同衬底上沉积了BST／LNO通过旋涂、快速退火(RTA)工艺于700℃保多层膜，分别在Pt(111)／Ti／SiO2／Si(100)(以下温1．5min分别在si(100)、Pt(111)和石英玻璃简称Pl(111))和Si(100)衬底上得到了高度上，制备一层LNO。重复以上工序即得到一定厚(100)取向的BST／LNO多层膜，并初步比较研究度的LNO。在涂覆

8、了LNO的si(1O0)、Pt(111)和了退火工艺对多层薄膜电学性能的影响。石英玻璃上，通过旋涂、RTA工艺于750oC保温3min制备一层BST。