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1、ASM设备中几种常见马达介绍陈廷劲2014.10.06前言：对马达的认识马达的称呼：马达，电机，Motor马达的作用：运动的执行机构，把电能转化为机械能。马达的分类：？？？目录一）简要说明；二）步进马达；三）一般伺服马达；四）线性伺服马达；五）DC马达；六）AD8912机台马达概况。一.简要说明ASM设备中常见马达分类：COBASM主要设备：DB:AD898,AD8912,ISLinDA,COE139,IBE139;WB:Eagle60,EagleXtreme,LBE139,LTE139;HA:AD8
2、68,868LA2,868LA3。马达分类性能特点实际应用步进马达作一般电机用ElevatorYZ马达一般伺服马达精度非常高BondY,EpoxyWriterXY马达线性伺服马达精度相当高WorkholderIndex,BondOpticY马达DC马达效率高，易控制，类似于电磁阀ExpanderDC,ElevatorMagazineClamp马达二.步进马达2.1步进马达(StepperMotor)机台上的应用:SanyoDenkiSteppingMotor是ASM设备中常用的步进马达AD8912St
3、eppingMotorsOutputElevatorY，ZOutputConveyInputElevatorY，ZInputConveyWaferTableThetaTrackWidthDownSetBondAnvilDispenseAnvilDispenseWindowClampBondWindowClamp步进马达作一般电机用，精度一般二.步进马达2.2步进马达(StepperMotor)精度控制：作一般电机用,由Sensor或继电器控制位移若对位移精度有一定要求时,由Encoder控制不安装En
4、coder安装EncoderElevatorInputKickerMotorWorkholderDownSetMotor三.一般伺服马达3.1一般伺服马达(ServoMotor)在设备中应用：TamagawaDenkiServoMotor是ASM设备中常用的一般伺服马达AD8912BondheadY,ZEpoxyWriterX,Y,ZEjectorPinAD868LA,LA2BondheadX,ZPickheadX,Z一般伺服马达：1，精度非常高；2，马达自带Encoder。三.一般伺服马达3.2一般
5、伺服马达(ServoMotor)精度控制：一般伺服马达自带Encoder，与马达形成闭环系统，精度可达微米级。四.线性伺服马达4.1线性伺服马达(LineMotor)在设备中的应用：线性伺服马达在ASM设备中应用广泛。DAWBHAWorkholderIndexerBondOpticYWaferTableX,YBondX,YIndexerDispenseX,YBondOpticYBondheadY四.线性伺服马达4.2线性伺服马达(LineMotor)基本结构：线性伺服马达是一个组合体，由几大块组成。R
6、enishawScale&Encoder滑轨LMGuide磁体Magnet编码器LMEncoder线圈LMCoil光栅尺Scale四.线性伺服马达4.3线性伺服马达(LineMotor)精度：以下DBAD898线性伺服马达一些基本情况。五.DC马达5.1TsukasaDC马达在ASM设备中的应用很多：ElevatorDAWBAD868,LA2,LA3IBE139LBE139COE139部分传动马达IBE139部分传动马达LBE139部分传动马达TsukasaDC马达COE139IBE139LBE139
7、五.DC马达5.2DC马达性能特点：DC马达特点A,效率高，便于控制，在ASMHipec系统中，与Solenoid归为一类；B,一般由Sensor或继电器控制其位移，也有的连接Encoder进行实行信息反馈。COE139中的DC马达，标注DC/SOLAD8912DCM/SOL驱动箱线路图中，DCM与SOL归为一类六.AD8912机台马达概况参见《AD8912马达分布》报告：
