场发射环境电镜配置及技术规格表.doc

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1、场发射环境扫描电镜配置及技术规格表附件1：货物需求一览表项目序号设备名称数量交货地点交货期1场发射环境扫描电镜1台河南理工大学指定地点按合同要求附件2：设备配置及技术规格表序号设备名称技术参数功能要求数量1场发射环境扫描电镜仪器设备的主要技术参数1主机1.1分辨率1）高真空––30kV下不低于1.0nm(SE)––30kV下不低于2.5nm(BSE)*––1kV下不低于3.0nm(SE)2）低真空––30kV下不低于1.4nm(SE)––30kV下不低于2.5nm(BSE)––3kV下不低于3.0

2、nm(SE)3）环境真空(ESEM)*––30kV下不低于1.4nm(SE)1.2放大倍数––高真空模式下：14–1,000,000，连续可调––放大倍数误差：≤3%1.3电子光学––1台高分辨肖特基场发射电子枪，具有自动对中和启动电子枪功能；在显示器中显示全部发射器参数的状态信息；灯丝寿命优于两年。––加速电压：200V-30kV，连续可调––束流：最大200nA并连续可调––成像模式：二次电子像与背散射电子像，两者可以任意比率混合，自动调节和手动调节亮度、对比度。1.4物镜光阑––物镜光栏能自

3、加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑；––光阑寿命优于两年。1.5样品室––样品台：4轴马达驱动，移动范围：X≥50mm；Y≥50mm；Z≥50mm；T:-5～+70°，R=360°连续旋转––样品台移动重复精度：2um（X/Y方向）––样品室尺寸：≥250mm；兼容性高，预留EDS、EBSD、波谱仪以及其他标准扩展接口。1.6检测器––高真空模式，E-T二次电子探头；––低真空模式，大视场低真空气体二次电子探头(LFD)––环境真空下模式，气体二次电子探头(GSED)––高灵敏度，低电压固体

4、背散射电子检测器––样品室红外CCD相机1.7图像处理器––图像处理：最大4096×3536像素––图像文件格式：TIFF(8位或16位)，BMP或JPEG––单窗口或四窗口图像显示，四活动窗口，实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合。––256帧平均或积分，数字动画记录––基于以太网架构的数据传输系统；––Intel双核控制和操作计算机系统，Windows7操作系统；中央处理器：CPU：Intel酷睿i74.0GHz。内存：4G；独立显卡，2G显存；界接口：串行、并行、SCSI、USB3.0接口、

5、网络；硬盘1TB；DVD刻录；––软件平台适用于Windows7操作系统可观察和检测非均相有机和无机材料样品的表面微观形貌观察及成分分析。它可以进行二次电子形貌分析和背散射电子衬度成像分析。能谱分析能够实现点分析、面分析、线扫描和面扫描，背散射电子衍射分析可以进行晶体取向成像、显微织构、晶界等分析。––显示器：24寸LCD显示器1.8真空系统––涡轮分子泵250l/sec和2个离子泵，两个无油机械泵；––“穿过透镜”的压差真空系统，低真空模式下抽气区域不少于3个；––样品室真空度：高真空模式下＜6

6、×10-4Pa，低真空模式下＜10～130Pa，环境真空模式下＜10～4000Pa1.9冷却系统––配有循环水冷却器1.10其他配件或易损件––配置相关配件或易损件（备用灯丝+光阑3套）。2附件2.1X射线能谱仪（EDS）1）探测器––探头类型：电制冷硅漂移（SDD）探测器，采用场效应管（FET）集成设计的高速SDD芯片，有效探测器面积≥30mm2l––能量分辨率：在100,000CPS条件下MnKa保证优于129eV，轻元素分辨率：C-K/57eV,F-K/67eV––单一处理单元能同时支持两个

7、及多个探测器l––测定元素范围：4号元素硼Be到95号元素镅Am––峰背比优于20000:1，谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，MnKa峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV2）能谱仪及图像系统––能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，完整的能谱定性定量系统，带图像系统，能进行线面扫描；––电子数字图像最大清晰度：8192×6400；––全谱智能面分布图清晰度4096*4096，单探测器输出最大计数率大于600,000CPS，可处理最大计数率大于1,500,000

8、CPS。3）智能化能谱分析平台––一体化集成用户界面，所有应用软件在同一个平台上打开，支持用户自定义模式及账户管理，支持中、英文等多种操作界面。––定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围，可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离。––定量分析：可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；具备有标样定量分析及无标样定量分析方法。4）计算机及其附件部分––计算机工作站，EDS与EBSD共用高级工作站系统，IntelXeonE