设备配置及技术规格表

《设备配置及技术规格表》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、设备配置及技术规格表序号设备名称技术参数功能要求1合金材料制备系统1、电源极限电流:500A*2、真空度:5×10-4Pa*3、冷却速率可达到106K/s4、熔炼样品重量:4×(50～70)g5、具有熔炼与吸铸功能，吸铸模具与水冷模具套滑配，保证冷却效果6、电极杆和机械手均采用球密封机构7、冷却方式:水冷,含自动报警8、具有自动引弧,弧光保护,水压保护及机械手翻转系统设备配套：1、Φ380×350（mm）卧式真空熔炼室*2、电源:500A直流焊机3、真空设备:FF-160/600分子泵一台和TRP-24机械泵*4、主抽超高真空插板阀CC-1505、控制柜6、电磁搅拌系统

2、7、吸铸与熔炼用坩锅8、吸铸模具9、电极杆和机械手10、备用密封圈及工具11、配套循环冷水机2光刻系统1、曝光面积：4英寸2、曝光波长：365nm*3、分辨力：1.5μm（胶厚2μm的正胶）4、对准精度：±1μm5、掩模样片整体运动范围：X：15mmY：15mm6、掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸*7、样片尺寸：直径φ15mm～φ100mm厚度：0.1mm～6mm(可扩展为15mm)8、曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量*9、照明不均匀性：5%（φ100mm范围）*10、双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学

3、最大倍数400倍，光学+电子放大800倍物镜三对：4倍、10倍、20倍目镜三对：10倍、16倍、20倍11、掩模相对于样片运动行程：X：±5mmY：±5mmqθ：±6度12、汞灯功率：200W（直流）13、曝光能量密度：6mW/cm214、外形尺寸：650mm（长）×600mm（宽）×900mm（高)3积分球附件该部分能与荧光光谱系统可配套使用。*1、需要大尺寸积分球一个，6英寸，保证QY测量的高准确性和高精度2、底部抽屉式设计，避免腔体污染3、积分球腔体可放置标准1cm比色皿，带防挥发比色皿塞，无需额外配置样品杯4、固液分离式测量，满足固体、液体测量需求*5、配置CI

4、E1931,1976色度分析6、预留电线接口，可测试小型发光电器件7、测试时球体处于密封状态，无开放式光窗口8、配置非开放式专用通气孔，提供气氛保护*9、提供10个固体样品杯，直径10mm,深度3mm*10、提供10个石英盖玻片，覆盖固体样品表面11、提供2个样品塞，用于密封底部样品装样口4低温变温台该部分能与荧光光谱系统可配套使用。*1、样品变温范围要求从78K-325K*2、整个变温范围内的控温稳定性要求优于+/-0.05K3.样品更换时间要求小于5分钟*4、恒温器要求内置液氮储槽1.2L，要配有低温吸附器，保证真空度，真空罩要求配有抽真空阀、安全阀、10针或大于1

5、0针的电学接头*5、样品管直径要求大于31.5mm，需配有四路石英窗口，可透光直径要求大于15.5mm*6、进入样品管的液氮要求可调节流量，配有流量控制阀，热交换器上要求配有50欧姆的控温加热器和硅二极管温度计*7、恒温器尾部窗框尺寸要求小于75mm，需要配有四路石英窗口，可透光直径大于41mm样品杆上方要求配有两个10针（或大于10针的）电学接头，一个用于控温，一个用于电学测试，两个备用端口和安全阀8、样品座上要求配有25欧姆控温加热器和硅二极管温度计*9、需要提供镀金无氧铜光学型样品托、按要求定制的液体样品托、粉末样品托*10、需要能够匹配现有HoribaJYFL-

6、3荧光光谱仪，并提供耦合装置*11、要配有双通道的高精度低温控温仪，双加热器输出（50W和25W），PID自动控温，含Ethernet、GPIB、USB接口12、配有真空泵（国内采购），抽速大于8m3/h，含金属波纹管、卡箍等连接恒温器真空腔所需的真空配件专家论证：