直拉单晶棒少子寿命的检测.ppt

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1、籽晶晶体定向的检测Detectionofseedcrystalorientation检测依据及设备、原理检测作业指导书检测数据分析234采样及其样品处理1检测报告书5采样及其样品处理一、采样1、单晶棒2、单晶片：取头部、中部、尾部各三片，要具有代表性二、样品处理1、试样待测面用28~42μm或20~28μm金刚砂研磨或喷砂。2、对圆片试样，用5~14μm氧化铝或金刚砂研磨上下表面。检测依据检测设备Ｘ射线晶体定向仪原理：如果波长为λ的单色X射线入射到晶体上，要使其能在某晶面产生衍射，使得该晶面的放置位置相对于入射X射线

2、来说满足布喇格方程2dsinθ=nλ，对不同结构的晶体和不同的晶面其衍射线出现的方位不同，在与入射线的角度为2θ的位置上便会出现衍射线，根据衍射线的方位就能确定晶体的取向。X射线的性质：感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能力强、X射线的折射率近似等于1、衍射作用一台X射线定向仪主要由下几个部份组成：（1）X射线发生部分（2）X射线检测部分（3）样品台及转角测量部分检测作业指导书1、对晶体要求：⑴在检测前首先确认被测晶体是否为单晶；⑵定向前需先判断定向面的大致取向，如无法判定则可先假定一个，逐一实验，直到找到正确晶面；

3、㈢记住样品假定的方向。2、实验仪器：X射线定向仪、硅片3、实验步骤：①用前，开机预热5-10min；②查表，找与之对应的布喇格角θ；③调节盖革计数管放置在2θ的位置上；④开x光电源，按下开关，调电压，0.8-1.0A之间；⑤开气阀，吸上标准石英，拉开x光挡板，调数率旋钮，摇动手轮找到峰值；⑥换硅片，重复第5步操作；⑦当计数表达到峰值，记下转角，求水平偏离角，旋180˚，重复上面步骤，两次测量结果取平均值；⑧将样品位置复原后，旋转90˚后，重复操作，测得两个垂直的偏离角，取平均值⑨利用公式，当时，计算出Φ值数据分析数据

4、x-xy-y测试值15°19′14°48′14°26′16°14′α＝x－﹙－x﹚＝31°β＝y－（－y）＝108°Φ＝1°53′检验报告检测项目籽晶晶体定向的检测规格型号边长：20mm厚度：4mm单晶片委托单位及地址产品等级优等品抽样基数单晶棒头中尾各三片生产单位样品数量3片抽/送样日期检验状态符合检验要求检验日期检验类别委托检验检验依据国标GB/T1552-1995检验结果Φ＝1°53′检验结论符合合同要求主检人员：质检机构（公章）审核人员：批准人员：签发日期：Thankyou!