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时间：2020-03-25
《电子论文-电容式微机械加速度计闭环系统的零偏.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、!""#$%%%&%%’(清华大学学报-自然科学版.*%%’年第(’卷第*期$’,+B)#$$&***+,#/012345678329-":2;0<:5.=*%%’=>?@A(’=#?A**%$&*%(电容式微机械加速度计闭环系统的零偏吴天准=董景新=刘云峰-清华大学精密仪器与机械学系=北京$%%%C(.摘要D为解释电容式微加速度计闭环系统零点不惟一的统电路部分包括信号调理Q信号发生Q反馈加力Q
2、电压经交流放大的静平衡模型H通过零偏与预载的关系实验=定量分析了零和相敏解调后输出有方向的直流信号=对直流信号偏不重合度Q零偏重复性等=并对实验数据进行误差分析H该进行
3、dcec]ceb_bfZ‘begXceeZWZgX‘Z_Zghijklmnopm=qrstukmvwkm=xyizpm{
4、mv图+定齿偏置梳齿式加速度计原理图-}Z]cg_‘Zd_X~!gZebYbXd"dY_g#‘Zd_Ycd[$Ze%cdXWX&^=研究微加速度计的静平衡=特别是零偏输出和’Ybd&%#c(dbfZgYb_^=)Zb*bd&+,,,-.=V%bdc.重复性=对于掌握闭环系统控制规律=提高性能指标/aY_gce_D05<3?35、:<@<1?J6、7、P58、新的静平衡模型=从理论和实验两方0271R02711
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6、7、P58、新的静平衡模型=从理论和实验两方0271R02711
7、P58、新的静平衡模型=从理论和实验两方0271R02711
8、新的静平衡模型=从理论和实验两方0271R02711
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