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《微弧氧化制备 BaTiO3介电薄膜的电解液体系优化.pdf》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第39卷第7期Vol畅39No畅72014年7月HEATTREATMENTOFMETALSJuly2014微弧氧化制备BaTiO介电薄膜的电解液体系优化31233王敏,郭会勇,李文芳,张果戈(1.广东技术师范学院机电学院,广东广州510665;2.平高集团有限公司,河南平顶山467001;3.华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州510640)摘要:用正交试验法对BaTiO3薄膜微弧氧化电解液体系进行优化,并对最优电解液体系下所得薄膜的物相组成,元素分布情况、表面形貌及介电性能进行了表征。结果表明,最优电解
2、液体系为0.5mol/LBa(OH)2+0.1g纳米TiO2+0.05g乙二醇+0.2g甘油;最优电解液体系下所得薄膜主要由四方相BaTiO3和极少量BaCO3组成,且薄膜表面平整、孔洞分布均匀、孔径细小,其在100Hz下的介电常数为245.3。关键词:电解液;微弧氧化;BaTiO3;介电薄膜+中图分类号:TGTM223文献标志码:A文章编号:0254-6051(2014)07-0162-04OptimizationofelectrolyticsystemforBaTiO3dielectricfilmspre
3、paredbymicro-arcoxidation1233WangMin,GuoHuiyong,LiWenfang,ZhangGuoge(1.CollegeofMechanicalEngineering,GuangdongPolytechnicNormalUniversity,GuangzhouGuangdong510665,China;2.PinggaoGroupCompanyLimited,PingdingshanHenan467001,China;3.SchoolofMaterialScienceand
4、Engineering,SouthChinaUniversity,GuangzhouGuangdong510640,China)Abstract:OrthogonaltestwascarriedtogaintheoptimizedelectrolyticsystemofBaTiO3filmpreparedbyMAO.Thephasecomposition,elementaldistribution,surfacemorphologyanddielectricpropertyofthefilmsamplewer
5、estudied.Itisfoundthattheoptimizedelectrolyticsystemis0.5mol/LBa(OH)2and0.1gnanoTiO2and0.05gglycoland0.2gglycerin,andtheBaTiO3filmpreparedwiththeoptimizedelectrolyticsystemiscomposedmainlyoftetragonalBaTiO3phaseandatraceofBaCO3andpossesseshighdielectriccons
6、tantof245.3atthefrequencyof100Hz,alsoSEManalysisshowedthatthesurfaceofthefilmwassmoothandthedistributionofsmallMAOholeswereuniform.Keywords:electrolytesolution;microarcoxidation;bariumtitanate(BaTiO3);dielectricfilms收稿日期:2013-12-23BaTiO3(简称BT)作为最早发现的钙钛矿型铁基金
7、项目:广东省自然科学基金(S2013010015211);中央高校基本科研电体,因具有高介电常数、低介电损耗和反常光生伏业务费专项资金(2012ZZ0011)[1]作者简介:王敏(1978—),女,硕士,讲师,主要从事材料表面工程研打效应,而被认为在微电子学、光电子学和微机械究,E-mail:winawang@163.com学等领域具有广泛的应用前景。微弧氧化作为一种doi:10.13251/j.issn.0254-6051.2014.07.038[27]LiuJunyan,GongJinlong,LiuLi
8、qiang,etal.Investigationonstress170-174.distributionofmultilayeredcompositestructure(MCS)usinginfrared[32]杨文杰,杨彦明.基于表面温度的电机红外无损检测研究[J].thermographictechnique[J].InfraredPhysics&Technology,2013,舰船电子工程,2
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