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1、第42卷第8期人工晶体学报Vo1.42No.82013年8月JOURNAL0FSYNTHETICCRYSTALSAugust,2013电解液浓度对BaxSr(1-x)TiO3微弧氧化膜微观结构及介电性能的影响王敏,郭会勇2,李文芳,张果戈(1.广东技术师范学院机电学院,广州510635;2.河南平高电气股份有限公司,平顶山467001;3.华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640)摘要:用Sa(OH)·8H2O和Sr(OH)·8H:O配制电解液,工艺参数分别设置为电流密度20A/din、电流
2、频率100Hz、反应时间20min及占空比85%,采用微弧氧化法在工业纯Ti板(99.5%)表面原位生长BSrr-x)TiO,薄膜。分析了相同B82/Sr2比条件下,电解液浓度对薄膜物相、表面形貌及薄膜厚度的影响。结果表明:所得薄膜均主要由四方相BaoSr0TiO构成;Ba2和sr2各为0.2mol/L时所得薄膜的表面平整度及致密性最好,表面粗糙度值最小,并检测了该薄膜在不同频率下的介电常数和介电损耗,发现两者均随频率的增加而减小;薄膜厚度随电解液浓度的增加而增加。关键词:BaSrf1_、TiO;微
3、弧氧化;介电性能中图分类号:TM22+3文献标识码:A文章编号:1000-985X(2013)08—1584-06EfectsofElectrolyteConcentrationontheDielectricPropertiesandMicrostructureofBaSr(1)TiO3FilmsPreparedby一MicroarcOxidationWANGMin,GUOHui—yong,LIWen-fang。,ZHANGGuo.ge(1.CollegeofMechanicalEngineerin
4、g,GuangdongPolytechnicNormalUniversity,Guangzhou510635,China;2.HenanPinggaoElectricCompanyLimited,Pingdingshan467001,China;3.SchoolofMaterialandEngineering,SouthChinaUniversity,Guangzhou510640,China)(Received23January2013,accepted14May2013)Abstract:Bas
5、rflTiO3(BsT)thinfilmswerefabricatedbymicroarcoxidation(MAO)inanaqueoussolutioncontainingbariumhydroxideandstrontiumhydroxide.UnderthefixedratioofBa/Sr2.theinfluencesofelectrolyteconcentrationwerestudiedonthecrystallinestructure,morphologyandthickness.I
6、twasdemonstratedthatthefilmswerecomposedmainlyoftetragonalBa0.5sr0.5TiO3.111eBsTpreparedusinganelectrolytecomaining0.2moL/Lbariumhydroxideand0.2mol/Lstrontiumhydroxidewasfiatanddense,whichhadtheminimumsurfaceroughnessvalue.Alsoitsdielectricconstantandd
7、ielectriclosswerecharacterizedunderdiferentfrequencies.Itwasfoundthatwiththeincreaseoffrequency,bothdielectricconstantanddielectriclossweredecreased.Thefilmsthicknesswasincreasedtlltheincreaseofelectrolyteconcentration.Keywords:BaSr(1)TiO3;micro—arcoxi
8、dation;dielectricproperty一收稿日期:2013-01-23;修订日期:2013-05—14基金项目:中央高校基本科研业务费专项资金(2012ZZ0011)作者简介:王敏(1978一),女,浙江省人,讲师,硕士。E—mail:winawmag@163.corn第8期王敏等:电解液浓度对~axSr(TiO,微弧氧化膜微观结构及介电性能的影响1引言BaSr,一TiO(0≤≤1)(简称BST)因兼具BaTiO,高介电常数、低介质损耗、低漏电流密度和Sr
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