CDA系统及管材介.ppt

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1、Hookup中CDA用不锈钢管材及管件介紹主讲:谢德华目录不锈钢简介及分类管件与阀门加工工具及工法澄清及规范注意事项及常见缺失过滤器CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及碳氢化合物以供给无尘室CDA。CDASystem:空气压缩机缓衡储存槽冷却干燥机过滤器CDACDA大宗气体在半导体厂的用途CDA：CDA主要供给FAB内气动设备动力气源及吹净(purge)，LocalScrubber助燃。IA主要供给厂务系统气动设备动力气源及吹净。N2：主要供给部分气动设备气源或供给吹净、稀释、惰性气体环境

2、及化学品输送压力来O2：供给ETCH制程氧化剂所需及CPCVD制程中供给氧化制程用，供给O3Generator所需之氧气供应及其它制程所需。Ar：供给Sputter制程，离子溅镀热传导介质，Chamber稀释及惰性气体环境。H2：供给炉管设备燃烧造成湿氧环境，POLY制程中做H2BAKE之用，W-PLUG制程中作为WF6之还原反应气体及其它制程所需。He：供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。不锈钢管钢管是一种中空的长条钢材，大量用作输送流体的管道，如石油、天燃气、水、煤气、蒸气等，另外，在抗弯、抗扭强度相同时，重量较轻，所以

3、也广泛用于制造机械零件和工程结构。也常用作生产各种常规武器、枪管、炮弹等。钢管的分类钢管分无缝钢管和焊接钢管（有缝管）两大类。按断面形状又可分为圆管和异形管，广泛应用的是圆形钢管，但也有一些方形、矩形、半圆形、六角形、等边三角形、八角形等异形钢管。不锈钢管材分类不锈钢管依管材等级区分可分为EP、BA&AP,MP管材等级:AP：酸洗管(Annealtreatment&Passivation)MP:機械研磨處理(MechanicalPolish)BA：光輝燒鈍處理(BrightAnnealtreatment)EP：電解研磨處理(E

4、lectroPolish)影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP＞BA＞MP>AP一般BULKGAS（GN2、CDA、Ar、H2、O2），其中GN2、CDA选用BA级其余之BULKGAS及APECIALTYGAS皆用EP级之管材，材质为SUS316L，有时，业主亦因成本之考量GN2、CDA如用在PUMP之动力源，会考虑使用SUS304。BA&MPEP&EP製程介紹冷間加工colddraw機械研磨Mechanicalpolish光輝燒炖Brightannealing電解研磨Electropol

5、ish高精密洗淨HighPrecisionCleaningBApipeMPEPpipe管件電解研磨ElectropolishEPpipe不锈钢的耐蚀性取决于钢中所含的合金元素。铬是使不锈钢获得耐蚀性的基本元素，当钢中含铬量达到12％左右时，铬与腐蚀介质中的氧作用，在钢表面形成一层很薄的氧化膜（自钝化膜），可阻止钢的基体进一步腐蚀。除铬外，常用的合金元素还有镍、钼、钛、铌、铜、氮等，以满足各种用途对不锈钢组织和性能的要求。不锈钢通常按基体组织分为：①铁素体不锈钢。含铬12％～30％。其耐蚀性、韧性和可焊性随含铬量的增加而提高，耐

6、氯化物应力腐蚀性能优于其他种类不锈钢。②奥氏体不锈钢。含铬大于18％，还含有8％左右的镍及少量钼、钛、氮等元素。综合性能好，可耐多种介质腐蚀。③奥氏体-铁素体双相不锈钢。兼有奥氏体和铁素体不锈钢的优点，并具有超塑性。④马氏体不锈钢。强度高，但塑性和可焊性较差。不銹鋼材中各主要元素之作用說明：碳：在金屬中為硬化元素。錳：能增加金屬硬化能及強度。矽：在於改善鋼材的衝擊抵抗性及延展性，是金屬冶煉中的除氧劑。磷與硫：金屬冶煉中是屬於不純物，如果含量多時會使鋼材延展性降低。鉻：在合金鋼中形成安定、硬化，耐磨損之碳化物，鉻在高溫時亦很安定

7、。鎳：增強鋼材的低溫韌性及延展性，填加鎳元素亦可大大的改善腐蝕抵抗。鉬：主要用途在於改善高溫時的抵抗強度及潛變抵抗和改善鋼材的硬化能。鋁：主要目的在於控制鋼材組織晶粒之大小。氧、氫：燃燒與助然性氣體是金屬冶鍊中不可缺少之燃劑。型号301—延展性好，用于成型产品。也可通过机械加工使其迅速硬化。焊接性好。抗磨性和疲劳强度优于304不锈钢。型号302—耐腐蚀性同304，由于含碳相对要高因而强度更好。型号303—通过添加少量的硫、磷使其较304更易切削加工。型号304—通用型号；即18/8不锈钢。GB牌号为0Cr18Ni9。SUS

8、304L型号309—较之304有更好的耐温性。型号316—继304之后，第二个得到最广泛应用的钢种，主要用于食品工业和外科手术器材，添加钼元素使其获得一种抗腐蚀的特殊结构。由于较之304其具有更好的抗氯化物腐蚀能力因而也作“船用钢”来使用。SS316则通常用于核燃料回收装置。