ZEISS FIB软件及操作说明.pdf

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1、ZeissFIB培训资料ZEISSFIB软件及操作说明1、设置样品的优中心和共聚点在设置样品的优中心和共聚点之前，先确认以下四项：SpecimenCurrentMonitor已经关闭，以保证接触报警处于激活状态；SEMControl中的Stage选项卡，右击空白处CentrePoint/Feature=Stageonly；SEMControl中的Aperture选项卡的Beamshift=0；FIBControl中的Align选项卡处于30kV：50pA的Beamshift=0。-51.1放入样品，等systemvacuum

2、好于5×10mbar，加SEM的加速电压；FIBGun-7pressure好于1×10mbar时，打开离子束；点击打开FIBcontrol或者按F5快捷键，在FIB选项卡中点击打开离子束。1.2在SEM模式下调节图像至最佳，参数为：120μm光阑；高电流模式；WD在10-15mm之间；500X左右；5kV；快速扫描；1.3View→Crosshairs打开“米”字图，选择一特征点处于屏幕中间；1.4倾斜样品台至10°，此时特征点会偏离屏幕中心，需调节M轴进行补偿，使特征点重新处于屏幕中心，即样品台倾斜10°和水平放置时都是同

3、一视野。（特征点上移，增加M；下移，减少M）1.5重新聚焦并检查优中心。将样品台倾斜至0°，检查特征点是否处于屏幕中心，否则移动样品台（centerpoint）将特征点移至屏幕中心，重复1.4；1.6倾斜样品台至54°，并激活TiltCorrection=54°，改变M轴将特征点移至屏幕中心，聚焦。1.7在SEM模式下，移动Z轴时样品台上升至WD为5mm左右（勾选TrackZ）；1.8选择一特征点处于屏幕中心，锁定FIB模式和SEM模式的放大倍数。点击工具栏中的“EMparameter”,在图中左键画个方框并找到FIBLoc

4、kMags，点击窗口中的OK，双击弹出的FIBLockMags图标会在“No”和“Yes”之间进行却换（或者可将这一功能加到Toolbar中）。1.9按F8切换至FIB模式，采用移动Z轴将1.8中所选的特征点重新移至屏幕中心，此时样品台就处于共聚点。ZeissFIB培训资料2、切割milling确认已设置好样品台的优中心和共聚点。1.1按F8切换至FIB模式，点击FIBTools中的，选择其中一种对象作为对样品切割的区域；1.2在FIBControl的shape选项卡中选择切割的模式（millfordepth，millfor

5、time，depositionfortime）；1.3设置切割对象的参数，如大小、位置、深度、束流等等；1.4点击FIBControl的Mill选项卡中的mill，开始切割；1.5自动切换至SEM+mill模式对切割的过程进行监控，选用120μm光阑和高束流模式进行观察。1.6可对切割的过程进行停止、开始/暂停等操作（参照第四部分的软件说明,FIBControl的Mill选项卡）。3、沉积deposition确认已设置好样品台的优中心和共聚点，在实验半小时之前对气体进行加热，促使气体稳定。1.1GIS经常使用，直接进行下一步

6、。否则，关闭SEM的加速电压、FIB的加速电压和Columnchambervalve；直接勾选FIBControl的GIS选项卡中所需气-5体对应的Openvale，直至正空稳定在1-2×10mbar之间；去选openvalve。打开Columnchambervalve、加SEM的加速电压和FIB的加速电压。1.2按F8切换至FIB模式，点击FIBTools中的，选择矩形作为沉积区域；1.3选择沉积模式（depositiontime或depositionw.thickness）,对沉积的对象设置参数，如大小、位置、束流等。1

7、.4选择所需气体所对应的通道，此时GIS会缓慢地、自动地靠近样品的表面；1.5沉积完毕后，点击FIBControl的GIS选项卡中的Parked，使GIS自动撤回归位。4、软件功能说明FIBtoolbarZeissFIB培训资料4.1Millingdialog点击Millingdialog弹出如下的菜单栏，无论选择哪一个选项都将会自动打开FIBcontrol中的Shape选项卡对所选择的形状进行参数设置。刻蚀标志只能使用MillforTime模式；细和粗分别对应于将该图形所设置的离子束束流大小，可将其保存为默认；ZeissF

8、IB培训资料4.2FIBControl4.2.1FIB选项卡Emissioncurrent共有三种颜色：红色：抑制电压（suppressionvoltage达到极限）黄色：emissioncurrent与目标电流差大于0.1μA绿色：emissioncurrent与目标电流差小于±0.1μ