《CF制程简介》PPT课件.ppt

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1、CF制程简介课程内容课程目标了解CF基本制程了解CFCOA生产流程1.CF定义及作用2.CF结构介绍及说明3.制程流程说明4.CFCOA生产流程介绍Part1.CF定义及作用CF(ColorFilter)即:彩色滤光片。是组合TFT-LCD其中的一个零组件,其主要的功能是让液晶显示器能产生彩色画面,若无彩膜,则看到的电视显示将是黑白的。Part2.CF结构介绍众所周知,自然界的三原色为红、绿、蓝,通过对三原色进行混色,并调整其亮度(灰阶)可以呈现不同的色彩。BM:黑色矩阵,用来掩挡漏光PS:感光间隙子,用来支撑与维持Cellg

2、ap均匀ITO:用来作CF侧通用电极RGB:起主要作用的RGB三种色阻分布排列Part3.制程流程说明BM制程包括:①玻璃清洗②BM光阻涂布③真空干燥④预烘烤与冷却⑤紫外线曝光⑥显影⑦烘烤。RGBLayer为相似制程,与BM相同,区别在于所用光阻及曝光用的光罩不同。RLayer红色光阻涂布GLayer绿色光阻涂布BLayer蓝色光阻涂布ITO制程为物理溅镀过程,包括①前清洗②ITO溅镀③后洗净④烘烤Part4.CFCOA生产流程介绍PS是在CF与Array基板中支撑Cellgap的柱状pattern。有一定的弹性回复力,可以承

3、担一定的压力。PS呈透明状,减少对光透过的阻挡,制程工序一样为黄光工序。谢谢!

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