飞机座舱玻璃铌掺杂ITO镀膜工艺参数选择.pdf

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1、第8卷第1期2017年2月航空工程进展ADVANCES1NAERoNAUTICALSCIENCEANDENGINEERINGV01．8NO．1Feb．2017文章编号：1674—8190(2017)01—078—06飞机座舱玻璃铌掺杂ITO镀膜工艺参数选择刘战合1，姬金祖2，王晓璐1，王菁1(1I郑州航空工业管理学院航空工程学院，郑州450046)(2．北京航空航天大学航空科学与工程学院，北京100191)摘要：对飞机座舱玻璃镀膜能够有效提高飞机的头向隐身性并能优化座舱光电性能参数。针对座舱玻璃铌掺杂ITO镀膜，重点研究参与溅射的靶材数目

2、、氧气流量等工艺参数对其性能参数的影响规律。结果表明：参与溅射的靶材数目增加，方块电阻快速降低，之后下降斜率变小，趋于定值；透光率振荡变化，且当方块电阻大小稳定后逐渐变小。氧气流量增加时，方块电阻先减小后增加，当氧气流量大于6sccm时，方块电阻迅速增加，透光率振荡后降低。不同基底的铌掺杂ITO薄膜，其方块电阻和透光率变化不大，仅影响真空度等其他工艺过程。各工艺参数对薄膜颜色有一定的制约作用。关键词：溅射；铌掺杂ITO；座舱；透光率；隐身中图分类号：V218文献标识码：ADOI：10．16615住cnki．1674—8190．2017．0

3、1．012ParameterSelectionofNb—dopedITOCoatingProcessforAircraftCockpitGlassLiuZhanhel，JiJinzu2，WangXiaolul，WangJin91(1．SchoolofAeronauticalEngineering，ZhengzhouUniversityofAeronautics，Zhengzhou450046，China)(2．SchoolofAeronauticScienceandEngineering，BeihangUniversity，Beijing

4、100191，China)Abstract：Aircraftcockpitglasscoatingcanimprovethestealthperformanceofthecockpitglassandoptimizethecockpit’Sphotoelectricperformanceparameters．FortheNb—dopedIT()(IndiumTinOxides)coatingoftheaircraftcockpitglasses．theNb—dopedIT()coatingperformanceparameters’inf

5、luenceruleofthetechnologicalparametersismainlystudiedsuchasthenumberofsputteringtargetsandoxygenflow．Theexperimentresultsshowthat，withthenumberoftargetsinvolvedinsputteringincreasing，thesheetresistancefirstdecreasesrap—idly．Thenthefallingslopebecomessmall，andatlasttendstO

6、constantvalue．Thelighttransmittanceoscil—lates，andwhenthesheetresistanceisstable，thelighttransmittancegraduallybecomessmaller．Astheoxygenflowincreases，thesheetresistancedecreasesatfirst，andthenincreases．Whentheflowisgreaterthan6sccm，thesheetresistanceincreasesrapidly，andt

7、hetransmittancedecreasesafteroscillation．ThesheetresistanceandtransmittanceoftheNb—dopedIT()filmswithdifferentsubstrateshavealittlechange，andthedifferentsub—stratesjustaffectthedegreeofvacuumandotherprocess．Thetechnologicalparametersalsohavecertaineffectsonthefilmcolor．Ke

8、ywords：sputtering；Nb—doped1T()；cockpit；lighttransmittance；stealth收稿日期：2016—11-07；修回日期：2016-12-19