ITO镀膜玻璃培训资料.ppt

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1、ITO镀膜玻璃培训TCO简介ITO玻璃简介ITO玻璃的基本参数ITO玻璃的生产流程ITO玻璃的标识内容提要第一讲TCO简介透明导电氧化物，是通过物理或者化学方法制作的导电氧化物薄膜。主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。导电原理：在导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，其导电性发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。TCO—TransparentConductiveOxide第一讲TCO简介高的透过率——在可见光范围内T>80%高的电导率——体电阻率R<10-3Ω·cmTCO的基本要求第

2、一讲TCO简介●透明●导电●易酸刻蚀●耐碱腐蚀常见的TCO薄膜①应用范围液晶显示、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、太阳能电池、抗静电膜、EMI屏蔽膜、光学镀膜、红外反射膜等。ITO—氧化铟锡（IndiumTinOxide）缺点——铟在地壳中含量少：0.049ppm（百万分之一）全球预估铟储量仅5万吨，其中可开采的占50%。中国是主要产出国，保有储量为13014吨。第一讲TCO简介美国矿产局有关不同元素的世界用量及产量的数据元素世界产量(吨/年)世界用量(吨/年)剩余产量(吨/年)Ag15,00013,5001,500Bi8,0004,0004,000

3、Cu10,200,0008,000,0002,200,000In20080to100100Sb122,30078,20044,100Sn241,000160,00081,000Zn7,600,0006,900,000700,000元素相对价格铅(Pb)1锑(Sb)2.2铋(Bi)7.1铜(Cu)2.5铟(In)194银(Ag)212锡(Sn)6.4锌(Zn)1.3第一讲TCO简介AZO—氧化锌铝（Aluminumzincoxide）常见的TCO薄膜②●透明●导电●易酸、碱刻蚀应用范围液晶显示、触摸屏、太阳能电池、抗静电膜、光学镀膜等。AZO在氢等离子

4、体中的稳定性要优于ITO，导电性比ITO略差，红光透过率比ITO好。AZO为中性氧化物，不耐酸碱，限制了使用范围。第一讲TCO简介FTO—掺氟二氧化锡（SnO2：F）常见的TCO薄膜③生产方式：化学气相沉积(APCVD)和磁控溅射，但目前磁控溅射法还处于研究之中。膜层稳定性好，耐酸碱性能突出，透光性能和导电性能相对较差。这几年已经有很大的进步。●透明●导电●耐酸碱应用范围液晶显示、光催化、太阳能电池、抗静电膜、电致变色等。第一讲TCO简介AGC/NSG的FTO玻璃性能对比第一讲TCO简介CdO—氧化镉，有中等毒性，有致癌可能性。GZO—氧化锌镓，与A

5、ZO类似。ATO—氧化锡锑，导电性是ITO的1/6左右。常见的TCO薄膜其他的TCO薄膜还有：第一讲TCO简介其他的透明导电薄膜金属薄膜—薄的金属层（10nm以内）大多数是透明导电薄膜，但附着力差，膜层反射和吸收大，透过率较低。石墨烯—制备成本很高，价格达到每克5000元，是黄金的十几倍。宁波墨西科技有限公司刘兆平博士在2010年研发出了石墨烯产业化制备技术，将石墨烯的制造成本从每克5000元降至每克3元，2011年已开始建中试线试产。石墨烯在很多方面优于ITO。(碳纳米管）第一讲TCO简介第二讲ITO玻璃简介第二讲ITO玻璃简介ITO是一种无色透明

6、物质，具有良好的导电性，耐碱且易被酸刻蚀。普遍应用于LCD、TP、CF、OLED、TFT等产品。普通ITO玻璃由三部分构成：ITO层，SiO2层，玻璃基板。ITO层SIO2层玻璃基板LCD用ITO玻璃①玻璃基板常规产品厚度：1.1mm，0.7mm，0.6mm，0.55mm，0.5mm0.4mm，0.3mm常规产品尺寸：14”*14”，14”*16”，14”*17300*320mm，300*350mm，300*360mm370*400，370*470，400*500基板分类碱玻璃—钠钙玻璃，用于TN及STNLCD。板硝子NSG，旭硝子Asahi，中央硝

7、子CentralGlass，硼硅玻璃—德国肖特Schott铝硅玻璃—无碱硅酸铝玻璃，主要用于TFT-LCD。美国康宁Corning第二讲ITO玻璃简介识别角①识别浮法方向：5mm的尺寸方向与浮法方向平行。②识别膜面：将2*5mm的识别角放在左上方，正对观察者为ITO镀膜面。③通常膜面是玻璃的锡面浮法方向识别角2*5mm相同角1.5*1.5mm第二讲ITO玻璃简介②ITO玻璃的分类按基板类型分TNSTNSSTN按电阻高低分高阻低阻触摸屏TN—原片只切割磨边不抛光STN—普通等级型抛光原片SSTN—特殊等级型抛光原片高阻—面电阻大于30Ω/口低阻—面电

8、阻≤30Ω/口触摸屏—400Ω/口第二讲ITO玻璃简介TN-LCDTN=TwistNematic扭曲向列型扭