ITO镀膜教材.doc

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1、ITO玻璃教育訓練教材第一章ＬＣＤ簡介第二章ＩＴＯ玻璃２．１ＩＴＯ玻璃簡介２．２ＩＴＯ玻璃製造流程２．３ＩＴＯ玻璃生產管理第三章切割及裂片作業說明３．１製程簡介３．２治具規格說明３．３製程操作說明及製程條件設定３．４機台故障排除ˋ停電處理程序３．５品質自主檢查３．６其它注意事項第四章磨邊及倒角作業說明４．１製程簡介４．２治具規格說明４．３製程條件４．４機台操作及故障排除４．５品質自主檢查４．６其它注意事項第五章清洗作業說明５．１製程簡介５．２洗淨配藥方法５．３製程條件５．４機台操作及故障排除５．５品質自主檢查５．６其它意事項18ITO玻璃教育訓練教材第一章拋光作業說明

2、2.1拋光玻璃作業流程簡介2.2拋光原理2.3拋光玻璃之規格第二章機台簡介與製程條件設定2.1拋光機台簡介2.2製程條件設說明第三章拋光五大控制因素3.1P.P的管理3.2Pad的管理3.3template的管理3.4研磨劑的管理3.5振幅的管理第四章機台操作與拋光作業注意事項4.1作業前之確認事項4.2機台操作4.3拋光作業注意事項4.4破片處理程序第五章研磨劑測量及Pad修正6.1研磨劑測量6.2Pad的修正第六章品質檢驗作業程序及標準5.1抽檢作業5.2品質檢驗作業18ITO玻璃教育訓練教材　前言1.1LCD簡介lＬＣＤ：液晶螢幕顯示器(LiquidCrysta

3、lDisplay)。lＬＣ：液晶，遇電場會使液晶分子從平躺狀態旋轉成站立情況，使光線從無法穿透變成可穿透，進而產生明暗對比的情形。lＬＣＤ依其扭轉的程度可分為：(1)ＴＮ型　(2)ＨＴＮ型　(3)ＳＴＮ型，目前公司主要生產的為ＴＮ型及ＳＴＮ型ＬＣＤ。lＬＣＤ以圖型來區分可分為：(1)七段式（適用於計算機、電子錶等）(2)點矩陣式（適用於電子字典、電腦等）。lＬＣＤ作動的原理為：組合兩片ＩＴＯ導電玻璃，之間灌入液晶，當導電玻璃通電時，上下兩片圖形、線路有重疊部分就會產生電場，改變液晶分子方向，即會顥示。＋＋＋＋＋＋E↓↓↓↓↓──────l玻璃基板：一般ＴＮ／ＳＴＮ顯示

4、器是使用鹼石灰玻璃作為基板，即俗稱的鈉玻璃。此平板玻璃是採用浮法方法製成，所以又稱浮法玻璃。所謂的浮法製程(FloatingProcess)就是熔融的玻璃抽出後先經過錫爐，然後回溫至室溫，此種方式產出的玻璃稱之為浮法玻璃。玻璃基板的一些特性，如表面凹凸、冷熱沖擊性、鈉離子釋出量．．等特性，對ＬＣＤ產品品質或製程加工性都有重要影響。18ITO玻璃教育訓練教材玻璃基板規格：1.厚度：一般為1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm等等。2.外形尺寸：目前廠內比較常生產之尺寸為300*350、370*480。3.表面的傷痕、氣泡及雜物：有些矩陣圖形，布線最小圖形為5-

5、10um，因此在璃基皮上的缺陷也應小於5um，最近圖形越來越細，有時50um以下的傷痕和雜物都成了問題。4.玻璃表面的凹凸：(A)表面粗糙度：在1-2um的範圍內多次重覆出的凹凸，其變化通常比人眼的分辨率還小，這種微小的凹凸影響塗覆膜的特性、液晶取向和圖形邊緣的平整(B)表面波紋：是週期在1mm以上的表面凹凸，通常有5-20mm的週期，這有可能成為不均勻顯示的背景。(C)翹曲：通常是在基板內出現1-2次的凹凸，翹曲過大的表面波紋在顥示製造過程中的約是，在操作機台上真空吸附基板時不得產生模糊現象；在有矩陣型時，在實施微細圖形的光刻工程中不得產生漏氣現象；不得出現干涉條紋

6、背景等不均勻顯示對於上述各項，各種液晶顯示器所對應容估計值如下表：有源矩陣TNSTN表面粗糙度Ra100~150Å200-300Å200-300Å平整度－0.2um/20mm0.05um/20mm波紋型<0.5um<0.3um<0.05um翹曲度<100um<500um<500um18ITO玻璃教育訓練教材第一章　ＩＴＯ玻璃２．１ＩＴＯ玻璃簡介ＩＴＯ是IndiumTinOxide三個字的縮寫，中文為氧化銦錫；ＩＴＯ玻璃是在清潔的絕緣素玻璃表面上，以真空鍍膜的方法依序鍍上ＳｉＯ２層(二氧化矽)及ＩＴＯ層(氧化銦錫)；ＳｉＯ２膜乃作為阻擋層，因玻璃基板中的鹼性成分會微量釋

7、出，並滲入液晶中，進而造成液晶電阻率不降，另鈉離子會導電造成字肥現象，或使密封膠黏力下降等，故須先鍍上一層ＳｉＯ２做為阻隔。ＩＴＯ薄膜的特性是在可見光區具有高度的穿透性與極佳的導電性，非常商合作為ＬＣＤ顯示器的透明導電極。ＩＴＯ玻璃結構如下圖所示：素玻璃ITO膜:2x10-5mmSiO2膜:2.5x10-5mmlＩＴＯ膜的特性：1.在常溫下具有良好的導性。2.禁帶較寬，主要吸收在紫外光區，因而對可見光有良好的透過率。3.ＩＴＯ膜耐鹼不耐酸，用鹽酸和硝酸的混合液極易蝕刻。4.ＩＴＯ導電膜愈厚，則面阻抗值愈低；穿透率郤會因膜厚不同而有極小值和極大值，膜厚