晶科电池工艺培训.ppt

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1、HK000L8P_AnalystPresentationCONFIDENTIAL–NOTFORDISTRIBUTIONORDISCUSSION(INWHOLEORINPARTORINSUMMARY),INCLUDINGDISTRIBUTIONTOORDISCUSSIONWITHANYPROSPECTIVEINVESTOR,THEMEDIA,PRESSORWIRESERVICES太阳能电池工艺培训太阳能电池概述太阳能电池是一种有效地吸收太阳能辐射并使之转化成电能的半导体器件应用材料为单晶硅，多晶硅，带状硅，薄膜材料利用多晶硅生产工艺

2、可以使电池效率达到15%-16%RENA清洗工艺InTexInOxInOxSide生产太阳能电池流程基本流程:腐蚀绒面POCl3-掺杂/扩散去磷硅玻璃切边丝网印刷AI/Ag丝网印刷Al丝网印刷Ag烧结PECVDSiNx制备绒面的目的：减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。腐蚀绒面InTex降低表面反射，提高光电转换效率浓度:HF125g/L，HNO3380g/L温度:6–8ºC(chiller)时间:2分

3、钟清洗:水洗:DI–H2O20ºC碱洗:KOH/NaOH5%,20ºC,0.5分钟酸洗:HF5%,HCL10%,20ºC,1分钟1:Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O2:SiO2+4HF=SiF4+2H2O3:SiF4+HF=H2SiF64:NO2+H2O=HNO3+HNO25:Si+HNO2=SiO2+NO+H2O6:HNO3+NO+H2O=HNO2反应方程式制绒工序工艺要求制绒后的片子，不容许用手摸片子的表片。收片员工只允许接触片子的边缘进行装片。并且要勤换手套，避免扩散后出现脏片！认真执行每批片子的腐蚀深度的检测工

4、作，腐蚀深度是衡量制绒工艺的重要指标。所以希望上班的测片员工认真完成这项工作。A,要求每批测量4片。B,每次放测量片时，把握均衡原则。如，第一批我们把测试片放在1.3.5.7道，那下一批我们要求将测试片放在2.4.6.8道。这样我们也就可以检测设备稳定性以及溶液的均匀性。生产没有充足的片子时，工艺对产线员工的要求。A,如果有一个小时以上的停机，我们要求要将刻蚀槽的药液排到tank，减少药液的挥发。B,停机后没半小时用水枪冲洗碱槽喷淋，以防结晶盐堵塞喷淋。C,停机一个小时以上，要在开启机器生产前半小时用水枪冲洗风刀处的滚轮，杜绝制绒后

5、的片子有滚轮印！扩散太阳电池制造的核心工序扩散装置示意图太阳电池磷扩散方法１．三氯氧磷（POCl3）液态源扩散２．喷涂磷酸水溶液后链式扩散本公司目前采用的是第一种方法和第二种方法。POCl3磷扩散原理POCl3在高温下与氧气反应生成五氧化二磷（P2O5）和氯气（CL2)，其反应式如下：生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下：影响扩散的因素管内气体中杂质源的浓度扩散温度扩散时间POCl3简介POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。比重为

6、1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。遇水蒸汽分解成磷酸和氯化氢，可致磷中毒，对皮肤、粘膜有刺激作用，短期内吸入大量蒸汽，可引起上呼吸道刺激症状、咽喉炎、支气管炎；严重者可发生喉头水肿窒息、肺炎、肺水肿、心力衰竭等危害。接触皮肤应立即脱去被污染的衣服，要先用纸、棉花等将液体吸去，然后用大量流动的清水冲洗至少15分钟，就医。检验标准扩散方块电阻控制在45-55Ω/□之间。同一炉扩散方块电阻不均匀度≤10%，同一硅片扩散方块电阻不均匀度≤5%。表面无明显蓝点，手印以及因其他原因

7、引起的污染。刻蚀InOxSide切除硅片边缘过多的参杂部分。激光切边，等离子切边，腐蚀切边腐蚀溶液:HNO365%,HF49%,H2SO495%温度:6–8ºC时间:1.5–2分钟清洗:水洗:DI–H2O碱洗:KOH5%，20ºC酸洗:HF5%，20ºC腐蚀表面扩散层InOx酸液腐蚀:HF5%-7%，2min10-20ºC清洗:水洗DI–H2O，6min20ºC1:SiO2+4HF=SiF4+2H2O3:SiF4+HF=H2SiF6去磷硅玻璃主要反应方程式去磷硅工序工艺要求去磷硅后的片子，不允许用手摸片子的表面。收片员工只容许接触片

8、子的边缘进行装片。并且要勤换手套，避免PECVD后出现脏片！认真执行每批片子的腐蚀重量和绝缘电阻的检测工作，绝缘电阻是衡量后清洗工艺的重要指标。所以希望上班的测片员工认真完成这项工作。A,要求每批测量4片。B,每次放测量片时，把握均衡