晶硅电池制备工艺切片制绒扩散.ppt

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1、太阳能电池是一种将太阳光能直接转换为电能的半导体器件太阳能电池◆光伏产业链单晶电池片生产过程制绒清洗甩干扩散刻蚀和去磷硅玻璃PECVD丝网印刷背电极丝网印刷背电场丝网印刷正面电极分类检测包装原始硅片多晶电池片生产过程制绒清洗甩干扩散刻蚀和去磷硅玻璃PECVD丝网印刷背电极丝网印刷背电场丝网印刷正面电极分类检测包装原始硅片6.1硅片生产工艺（及主要设备）工艺流程：硅锭（硅棒）--切块（切方）--倒角抛光--粘胶--切片--脱胶清洗--分选检验包装工艺简介：切块／切方：将硅锭或者硅棒切成适合切片的尺寸，一般硅锭切成25块（主流）。倒角抛光：将晶

2、柱的圆面棱角研磨成符合要求的尺寸，对表面进行抛光处理，从而获得高度平坦的晶片。粘胶：用粘附剂把晶柱固定在由铝板和玻璃板组成的夹具上，自然硬化或用恒温炉使其硬化。切片：把晶柱切割成硅片，切割的深度要达到夹具上的玻璃板，以便在之后的程序中把硅片和玻璃板分开。脱胶清洗：用清水清洗切成的硅片，再用热水浸泡，使硅片与玻璃板分开。分选检验包装：抽样检查厚度、尺寸、抗阻值等指标，全部检查破损、裂痕、边缘缺口，挑选出符合要求的硅片进行包装。主要设备介绍1、切方机切方机是用来对硅棒、硅锭进行切割的设备。该设备目前在国内已实现规模化生产，上海日进、上海汉虹、大

3、连连城、北京京仪世纪等公司已有成熟的产品投入市场。一条50MW的硅片生产线需要配1台切方机即可，国产设备价格为280万元左右。2、多线切割机多线切割机是目前市场上用于切片最主流，也是最先进的设备。它的基本原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而将硅棒等硬脆材料一次同时切割为数千片薄片的一种切割加工方法。多线切割由于其更高效、更小切割损失以及更高精度的优势，适用于切割贵重、超硬材料。近十年来已取代传统的内圆切割成为硅片切割加工的主要方式。在光伏行业切片领域，到2009年底国内市场基本被瑞士的HCT、Meyer

4、Burger（梅耶博格）和日本的NTC所统治。近年来国内设备厂家上海日进、电子集团45所、兰州瑞德、无锡开源、大连连城、北京京联发、湖南宇晶等也陆续推出了多线切割机样机。修边切方切片在切割中，对钢线施加适当的张力，使钢线来回拉动。使用线切割机进行切片钢线带动浆料（油及SiC），使其对晶棒进行切割。浆料不仅是研磨剂，还带走研磨中的热量。占整个切片成本的25%~35%。太阳能电池厚度为200~280μm。钢线直径180μm，碳化硅为5~30μm。半成品库切断检验切方自检滚圆不合格检验合格合格不合格准方棒粘接切片自检脱胶预清洗插片超声波清洗检验合

5、格包装成品库不合格单晶硅片生产工艺流程切断开方切片硅片半成品库硅锭粘接脱胶切断（去头尾）检验合格准方棒粘接切片自检脱胶预清洗插片超声波清洗检验合格包装成品库不合格多晶硅片生产工艺流程破锭边皮料磨面头尾料不合格倒角◆太阳能级单多晶硅片技术参数规格(尺寸)(mm)125*125；156*156导电类型P型；N型晶向及晶向偏差<100>±2º电阻率范围(欧母·厘米)少子寿命(us)氧含量(atoms/cm2)碳含量(atoms/cm2)位错密度(个/cm2)晶体硅片边长(mm)125*125±0.5；156*156±0.5对角线(mm)150±

6、0.5；220±0.5中心厚度值(um)200±30厚度偏差(um)TTV≤40，边缘6mm处测量弯曲度BOW(um)≤70锯痕深度(um)≤15外观状况无油污、无孔洞钝形缺角类缺陷长度≤1.5mm×1mm,每片缺陷数量≤5个V型缺角类缺陷0◆开方介绍硅锭硅棒◆切片机介绍◆切片原理切片的原理及过程：利用切割钢丝带动砂浆，利用砂浆中SiC微粒与晶棒进行摩擦，达到切割的目的。并不是钢丝切割晶棒，钢丝的摩尔硬度为5.5左右，单晶硅的摩尔硬度为6.5左右，而SiC的摩尔硬度为9.25-9.5左右，因此钢丝是切割不了晶棒的.◆设备基本特性和技术参数工

7、件工件尺寸□156*L320mm并排2根长度最大320mm切割线切割线直径0.12-0.16mm切割线长度根据要求而定切割线速度可编程设定，600m/min正向和反向切割(自动反向)总循环时间可编程设定切割线张紧力10-25N主辊主辊轴承特殊滚柱轴承、水冷式主辊直径200-215mm主辊长度320mm主辊重量约29kg主辊数量2进给工作行程最大300mm/min进给速度0.1-2mm/min,可编程设定快速进给速度300mm/min浆液供应浆液箱容量200升浆液温度受控泵流量在25°C时，最大达180l/min浆液冷却通过热交换器控制系统类

8、型PLC控制。◆各工艺流程---线切部分●线切部分的主要组成单元主要由：放线部分＋收线部分＋线网系统＋冷却交换系统＋切削液循环供给系统＋压缩空气洁净系统组成。●各单元的构成及作用