CMOS Sensor瑕疵检测关键技术研究.pdf

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1、分娄号：工旦：：L『)c：乜l密级：巫笪互编号CMOSSensor瑕疵检测关键技术研究Researchontheke，techno

2、093ofCMOSSensordefectdetection学位授予单位及代码：量重堡王盍堂!!Q!苎曼!学科专业名称及代妈：堂堂兰韭!Q!Q!!研究方向：盘堕冽趁挂盔壁拯嬖申请学位级别：亟主一指导敦师：自室王．园壁壁研究生：熊童萱论文起止时间：2Q!Q：Q!二!{!!』：!：长春理工大学硕士学位论文原创性声明本^弗重声明：所呈交的硕士学位论文．(／CMOSSensor瑕疵检测关键技术

3、研究》是本人在指导教师的指导下．独立进行研究工作所取得的成果：除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确疗式标明：本人完全意识到奉声明的法单结果由车^承担。作者签名：叠蔓望：：—；lⅡ丝一年——2)_月—』￡日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导敦师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文垒文数据库和CNKI系列数据库及

4、其它国家有关部门或机构迭交学位论文的复印件和电于版，允许论文被查问和借闻。本人授权长春理工大学可咀将本学位论文的全部或部舒内容编入有关数据库进行检索．也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。怍者签#：叠童惑，2n乜年—2L月』生H导师整#：鱼盔聋』生年—芝月止日摘要随着CMOS器件的广泛应用，人工检测已经不能满足产量需求和产品质量要求，需要研制用于对检测其性能指标的自动化设各。本文针对目前c雠芯片人工检测的不足．设计了自动光学捡捌系统，满足对CMOS芯片自动检测的要求。系统优化了光源的打光方式，根据L

5、E9的特点采用电压源自动控制，并对三色光进行混色。系统利用机械手替代人工完成对被检测的CMOS芯片的分检，分析了机械手的x、Y方向的位移精度。系统利用单目视觉技术，通过图像处理技术判断被抓取芯片位置，并通过图像坐标系与系统坐标系之间的转换，实现芯片的旋转校正和定位，实现了芯片测试过程中芯片管脚与触头精确对准。虽后通过实验，验证了系统中图像坐标系和系统坐标系标定方法的可行性。关键词：CMOS芯片AOI机械手单目视觉ABSTRACWiththewideapplicationofCMOSdevices．artificia

6、ldetectionhasbeenunabletomeetmeproductiondemandandproduelqualityrequirements．needtobedevelopedfortestingtheperfomlanceindexofautomationequipmentThisarticlelnviewofthecurrentCMOSchipmanualtesting．designofautamaticopticalinspectionsystem．tomeettherequirementofau

7、tomatictestingforCMOSchipSystemoptimizationofthelightSourcelightingme山ods．accordingtothecharacteristicofLEDbasedonvoltagesourceautomaticconlT01．andthecolorlightcolormixingS)一stembythemechanicalhandsinsIeadofmanpowertothedetectedCMOSchipsorting．analysisoftheman

8、ipulatorwithX．Ydirectiondisplacementaccuracy．Systemusingmonocularvisiontechnologyimageprocessingtechnologyisjudgedbygrabbingachippositionandthroughtheimagecoordinatesandthesystemcoordinateconversionbetween，thechiprotmioncorrectionandpositioning．achieveddu6ngth

9、echiptestingchippinandthecontactprecisionaligv．mentFinally,verifiedthesystemimagecoordinatesystemcoordinatesystemandthefeasibilityofthecalibrationme山odKevwordsCMOSchipAOImanipulato